公开(公告)号：EP2733752A4

公开(公告)日：2015-02-25

申请号：EP12811528

申请日：2012-05-25

申请人： MARUBUN CO LTD ,  TOSHIBA MACHINE CO LTD ,  RIKEN ,  ULVAC INC

发明人： KASHIMA YUKIO ,  MATSUURA ERIKO ,  NISHIHARA HIROMI ,  TASHIRO TAKAHARU ,  OOKAWA TAKAFUMI ,  HIRAYAMA HIDEKI ,  FUJIKAWA SACHIE ,  YOUN SUNG WON ,  TAKAGI HIDEKI ,  KAMIMURA RYUICHIRO ,  OSADA YAMATO

IPC分类号： H01L33/20 ,  H01L33/32 ,  H01L33/44

CPC分类号： H01L33/32 ,  H01L22/12 ,  H01L33/20 ,  H01L33/44 ,  H01L2933/0083