公开(公告)号：EP2221609A2

公开(公告)日：2010-08-25

申请号：EP10001174.1

申请日：2010-02-05

申请人： Carl Zeiss OIM GmbH

发明人： Knupfer, Klaus-Georg

IPC分类号： G01N21/88

CPC分类号： G01N21/8806 ,  G01B11/2513 ,  G01N2021/8829

摘要： Zum optischen Inspizieren einer Oberfläche (32) an einem Gegenstand (26) wird ein erstes Muster mit einer Vielzahl von helleren und dunkleren Bereichen bereitgestellt, die einen ersten Intensitätsverlauf mit einer ersten Periode bilden. Der Gegenstand (26) wird mit der Oberfläche (32) relativ zu dem Muster positioniert. Dies geschieht auf eine Weise, so dass der erste Intensitätsverlauf auf die Oberfläche (32) fällt. Anschließend wird der erste Intensitätsverlauf relativ zu der Oberfläche (32) um eine definierte Schiebedistanz (126) verschoben. Entlang dieser Schiebedistanz (126) kann die Oberfläche (32) eine Vielzahl von unterschiedlichen Positionen relativ zu dem ersten Intensitätsverlauf einnehmen. Es werden zudem eine Vielzahl von Bildern aufgenommen, die die Oberfläche (32) mit dem ersten Intensitätsverlauf an den jeweils unterschiedlichen Positionen zeigen. Anhand dieser Bilder werden Eigenschaften der Oberfläche (32) bestimmt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung weist das erste Muster eine Rotationssymmetrie relativ zu einem definierten Ursprungspunkt auf.

摘要翻译： 该方法包括供给与多个光区和暗区，其中该区域以形成具有周期强度处理的图案。 一种制品（26）被定位成与相对于该图案的表面，检查做了强度过程来在表面上。 该图案具有旋转相对于所定义原点对称。 因此独立权利要求中包括了以下内容：（1）用于光在在物品检查的表面的装置; 和（2）的计算机程序具有程序代码。