Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer zumindest teilweise reflektierenden Oberfläche an einem Gegenstand
    2.
    发明公开
    Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer zumindest teilweise reflektierenden Oberfläche an einem Gegenstand 审中-公开
    用于在物体上光学地检验一至少部分反射的表面的方法和装置

    公开(公告)号:EP2236979A3

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:EP10003123.6

    申请日:2010-03-24

    IPC分类号: G01B11/25 G01N21/88

    摘要: Zum optischen Inspizieren einer zumindest teilweise reflektierenden Oberfläche (52) an einem Gegenstand (50) wird ein Muster (28) mit einer Vielzahl von helleren und dunkleren Bereichen (30, 32) bereitgestellt. Die helleren und dunkleren Bereiche bilden mindestens einen ersten räumlichen Intensitätsverlauf (34, 36) mit einer ersten räumlichen Periode. Der Gegenstand mit der Oberfläche wird relativ zu dem Muster um eine definierte Schiebedistanz verschoben, wobei der erste Intensitätsverlauf auf die Oberfläche fällt. Dabei nimmt die Oberfläche entlang der Schiebedistanz eine Vielzahl von unterschiedlichen Positionen relativ zu dem ersten Intensitätsverlauf ein. Es wird eine Vielzahl von Bildern über zumindest einen Bildsensor (40) aufgenommen, der eine Lichtstärke erfasst wobei die Bilder die Oberfläche mit dem ersten Intensitätsverlauf an den unterschiedlichen Positionen zeigen. In Abhängigkeit von den Bildern werden Eigenschaften der Oberfläche bestimmt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird die Lichtstärke des ersten Intensitätsverlaufs (34, 36) beim Aufnehmen von mindestens einem der Bilder mit einer definierten Charakteristik (82) variiert. (Fig. 1)

    Erweiterte Blendensteuerung für Bildeinblendungen in einem Stereomikroskop
    3.
    发明公开
    Erweiterte Blendensteuerung für Bildeinblendungen in einem Stereomikroskop 有权
    Einem Stereomikroskop中的Bildeinblendungen的Erweiterte Blendensteuerung

    公开(公告)号:EP1235094A3

    公开(公告)日:2003-03-19

    申请号:EP02100162.3

    申请日:2002-02-21

    IPC分类号: G02B21/22 G02B21/00

    摘要: Es wird ein Stereomikroskop beschrieben, das als Operationsmikroskop einen Beobachtungsausgang für einen Chirurgen (41) und mindestens einen weiteren Beobachtungsausgang für einen Assistenten (40) aufweist, wobei das Stereomikroskop Blenden (17a bis 20b) zum wahlweisen Abschalten von Objektinformationen aufweist.

    摘要翻译: 医用立体显微镜具有主要目的(10)和左右主光束路径(2a,2b)。 在至少一个主光束路径中,在输出反射分束器(12a,12b)和主观测输出(21a,21b)之间提供可切换的快门(18a,18b)。 此外,在输出分束器之前,具有相应的快门(17a,17b)的反射分束器(11a,11b)的输入端。 来自输入反射分束器的光被收集在辅助观察输出(20a,20b)中。 从源(16)提供附加信息或图像,源(16)经由可切换偏转棱镜(14)连接到观察光束路径中。

    METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING A POSITION OF AT LEAST ONE LEAD OF AN ELECTRONIC COMPONENT
    4.
    发明公开
    METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING A POSITION OF AT LEAST ONE LEAD OF AN ELECTRONIC COMPONENT 失效
    方法和装置的电子元件的至少一个连接标志确定位置。

    公开(公告)号:EP0473749A1

    公开(公告)日:1992-03-11

    申请号:EP91905650.0

    申请日:1991-03-22

    IPC分类号: B23P21 B23Q17 H05K13

    摘要: On décrit un procédé et dispositif pour déterminer la position d'au moins un conducteur d'un composant électronique par rapport à un plan de référence. Ledit conducteur est éclairé respectivement depuis des première et deuxième positions situées latéralement et hors du plan du composant électronique. On forme respectivement des première et deuxième images à ombre d'au moins une partie dudit conducteur sur un plan d'image, ladite deuxième position étant différente de la première. Lesdites première et deuxième images d'ombre respectivement sont localisées, et des troisième et quatrième positions respectivement sont déterminées à cette fin. La position du conducteur est déterminée à partir desdites troisième et quatrième positions.

    PROCEDE ET DISPOSITIF D'ANALYSE DE LA SURFACE D'UN SUBSTRAT
    6.
    发明公开
    PROCEDE ET DISPOSITIF D'ANALYSE DE LA SURFACE D'UN SUBSTRAT 审中-公开
    方法和装置的基板分析表面

    公开(公告)号:EP3080592A1

    公开(公告)日:2016-10-19

    申请号:EP14827494.7

    申请日:2014-12-10

    IPC分类号: G01N21/958

    摘要: A method for analyzing a surface of a specular substrate (2), comprising: - acquiring at least one image of a test pattern (10) produced by reflection from said surface, the test pattern including a periodic array of dark and light zones; - calculating the derivative of the local phase in one direction at points of the image from the image acquired; - calculating quantities representative of local enlargements in one direction at points of the image from the derivative of the phase; - calculating local optical powers from said quantities representative of local enlargements; and - calculating an altitude profile from the local optical powers.

    PHASE DISTRIBUTION ANALYSIS METHOD AND DEVICE FOR FRINGE IMAGE USING HIGH-DIMENSIONAL BRIGHTNESS INFORMATION, AND PROGRAM THEREFOR
    7.
    发明公开
    PHASE DISTRIBUTION ANALYSIS METHOD AND DEVICE FOR FRINGE IMAGE USING HIGH-DIMENSIONAL BRIGHTNESS INFORMATION, AND PROGRAM THEREFOR 审中-公开
    使用高维亮度信息的相位分布分析方法和边界区域设备及其程序

    公开(公告)号:EP2827097A4

    公开(公告)日:2015-12-23

    申请号:EP12871496

    申请日:2012-12-20

    发明人: RI SHIEN

    IPC分类号: G06T7/00 G01B11/25

    摘要: The present invention relates to a fringe image phase distribution analysis technique that performs one-dimensional discrete Fourier transform using temporal intensity information or spatial intensity information to calculate the phase distribution of the fringe image. The contrast (signal-to-noise ratio) of the acquired fringe image is reduced due to extreme low or high reflectance of the object to be measured and a large error occurs in the analysis result of a phase distribution, or a large measurement error occurs when an error is included in the amount of phase-shift due to environmental vibration during measurement or depending on the performance of the phase-shift device. Therefore, it is necessary to improve the analysis accuracy of the phase distribution. A plurality of phase-shifted moire fringe images is generated from high-dimensional intensity data by a thinning-out (down-sampling) process and an image interpolation process, and the phase distribution of the moire fringe is calculated by two-dimensional or three-dimensional discrete Fourier transform. In addition, the phase distribution of thinned-out is added to calculate the phase distribution of an original fringe image. Since high-dimensional intensity information which is present in both spatio-domain and temporal-domain is used, phase distribution analysis is less likely to be affected by random noise or vibration. In addition, even when measurement conditions are poor, it is possible to perform phase distribution analysis with high accuracy.

    VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM OPTISCHEN INSPIZIEREN EINES PRÜFLINGS MIT EINER ZUMINDEST TEILWEISE REFLEKTIERENDEN OBERFLÄCHE
    8.
    发明公开
    VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM OPTISCHEN INSPIZIEREN EINES PRÜFLINGS MIT EINER ZUMINDEST TEILWEISE REFLEKTIERENDEN OBERFLÄCHE 审中-公开
    方法和装置带有至少部分反射面的测试对象进行光学检查

    公开(公告)号:EP2531836A1

    公开(公告)日:2012-12-12

    申请号:EP11705434.6

    申请日:2011-02-01

    发明人: BECK, Rolf

    IPC分类号: G01N21/47 G01N21/88 G01B11/25

    摘要: A device for optically inspecting a test object with an at least partially reflective surface (22) has a camera (12) with a number of pixels (48) and an illuminating device (14) comprising a plurality of spatially distributed light sources (16). A workpiece receiving portion is used to position the test object relative to the illuminating device (14) and to the camera (12) such that light from the light sources (16) is reflected to the camera (12) via the surface (22). An analyzing and controlling unit (32) generates a series of different illumination patterns (38, 38'; 40) on the surface (22), wherein different light sources (16) are switched on in the course of the series. According to one aspect of the invention, an individual light origin region (60), which represents a spatial distribution of individual light contributions (56, 58) that the light sources (16) generate on at least one pixel (48) via the surface (22), is determined using the images for the at least one pixel (48), said images being received with the camera. Properties of the test object (20) are determined using the individual light origin region (60).