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公开(公告)号:EP3340082B1
公开(公告)日:2021-02-17
申请号:EP16206605.4
申请日:2016-12-23
发明人: YIN, Yi , TONG, Ziqiang
IPC分类号: G06F30/39 , H01L23/522 , H01L23/64 , G06F113/18 , G06F119/10 , G06F119/12
公开(公告)号:EP3340082B1
公开(公告)日:2021-02-17
申请号:EP16206605.4
申请日:2016-12-23
发明人: YIN, Yi , TONG, Ziqiang
IPC分类号: G06F30/39 , H01L23/522 , H01L23/64 , G06F113/18 , G06F119/10 , G06F119/12