公开(公告)号：EP4356585A1

公开(公告)日：2024-04-24

申请号：EP22825530.3

申请日：2022-05-26

Applicant: Applied Materials, Inc.

Inventor： SURI, Tameesh ,  SHEIKH, Bilal Shafi ,  SHAK, Myron ,  ZAMAN, Naveed

IPC: H04L45/00 ,  G06N20/00 ,  H04L49/109 ,  G06F13/40

CPC classification number: H04L47/122 ,  H04L45/74 ,  H04L47/30 ,  H04L45/20

公开(公告)号：EP4352781A1

公开(公告)日：2024-04-17

申请号：EP22820736.1

申请日：2022-04-20

Applicant: Applied Materials, Inc.

Inventor： LAU, Shu-Kwan ,  CHOO, Enle ,  WANG, Danny Don ,  NELLIKKA, Shainish ,  NAKAGAWA, Toshiyuki ,  YE, Zhiyuan ,  DUBE, Abhishek

IPC: H01L21/67 ,  C30B25/10

CPC classification number: H05B3/0047 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/68742

公开(公告)号：EP4352275A1

公开(公告)日：2024-04-17

申请号：EP22820968.0

申请日：2022-06-08

Applicant: Applied Materials, Inc.

Inventor： DEEPAK, Nitin ,  CHAKRABORTY, Tapash ,  GORADIA, Prerna Sonthalia ,  SIVARAMAKRISHNAN, Visweswaren ,  BAGUL, Nilesh Chimanrao ,  UPADHYE, Bahubali S.

IPC: C23C16/44 ,  C09K13/00

CPC classification number: C23F1/12

公开(公告)号：EP3452634B1

公开(公告)日：2023-09-06

申请号：EP16719871.2

申请日：2016-05-02

Inventor： PARK, Hyun Chan ,  GEBELE, Thomas ,  BHOOLOKAM, Ajay Sampath

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/35 ,  C23C14/54 ,  H01J37/34

公开(公告)号：EP3207559B1

公开(公告)日：2023-07-12

申请号：EP15850855.6

申请日：2015-10-01

Inventor： PATIBANDLA, Nag B. ,  KRISHNAN, Kasiraman ,  REDFIELD, Daniel ,  BAJAJ, Rajeev ,  PERRY, Russell Edward ,  MENK, Gregory E. ,  REDEKER, Fred C. ,  ORILALL, Mahendra C. ,  FUNG, Jason G.

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/24 ,  B29C64/112 ,  B24D11/00

公开(公告)号：EP3555910B1

公开(公告)日：2023-06-14

申请号：EP17880590.9

申请日：2017-12-14

Inventor： SWAMINATHAN, Bharath ,  WANG, Wei

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01L21/67

公开(公告)号：EP3862460B1

公开(公告)日：2023-02-15

申请号：EP21158423.0

申请日：2014-08-14

Inventor： West, Brian T. ,  Cox, Michael S. ,  Oh, Jeonghoon

IPC: C23C14/34 ,  H01J37/34

公开(公告)号：EP3749796B1

公开(公告)日：2022-06-08

申请号：EP18703315.4

申请日：2018-02-05

Inventor： DEPPISCH, Thomas ,  ARMSTRONG, Claire ,  SCHNAPPENBERGER, Frank

IPC: C23C14/56 ,  C23C14/24 ,  C23C14/54

公开(公告)号：EP3431194B1

公开(公告)日：2021-12-29

申请号：EP17192632.2

申请日：2017-09-22

Inventor： Stopper, Markus J. ,  Schlezinger, Asaf

IPC: B07C5/36

公开(公告)号：EP3574125B1

公开(公告)日：2021-11-17

申请号：EP18744306.4

申请日：2018-01-18

Inventor： WU, Zhiyuan ,  BEKIARIS, Nikolaos ,  NAIK, Mehul B. ,  PARK, Jin Hee ,  LEE, Mark Hyun

IPC: H01L21/768 ,  H01L23/532 ,  H01L21/67 ,  H01L21/285