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    Spectromètre de masse stigmatique à haute transmission
    23.
    发明公开
    Spectromètre de masse stigmatique à haute transmission 失效
    高传输静态质谱仪

    公开(公告)号：EP0473488A3

    公开(公告)日：1992-07-08

    申请号：EP91402222.3

    申请日：1991-08-09

    申请人： CAMECA

    发明人： Chambost de, Emmanuel ,  Rasser, Bernard

    IPC分类号： H01J49/06

    CPC分类号： H01J49/06 ,  H01J49/32

    摘要： Le spectromètre de masse selon l'invention comporte disposé entre une fente d'entrée (W 1y , W 1z ) et une fente de sortie (W 4y , W 4z ) traversées par des particules émises par un échantillon, un système optique de couplage (1) placé entre deux secteurs électrostatique (2) et magnétique (3). Son système optique de couplage comprend au moins deux lentllles (L y ) et (L z ) à fente orientées respectivement selon une première direction (Y) suivant laquelle la trajectoire des ions est incurvée par les secteurs électrostatique (2) et magnétique (3) et selon une direction perpendiculaire (Z) au plan de la trajectoire. Les positions des deux lentilles (L y ) et (L z ) sur l'axe optique du spectromètre sont déterminées pour obtenir une compensation des dispersions chromatiques sur tout l'axe en aval du spectromètre, une image stigmatique de la fente d'entrée dans le plan de sortie du spectromètre et une image stigmatique en aval du spectromètre de la fente d'entrée, d'un plan non conjugué avec la fente d'entrée, dans un plan distinct du plan de sortie. Application : spectromètre de masse stigmatique à haute transmission.

    摘要翻译： 根据本发明的质谱仪包括布置在通过两个通过样品发射的颗粒的入口狭缝（W1y，W1z）和出口狭缝（W4y，W4z）之间的光耦合系统（1），放置在两个扇区 ，静电（2）和磁性（3）。 其光学耦合系统包括至少两个具有狭缝的透镜（Ly）和（Lz），它们分别沿着第一方向（Y）定向，离子的轨迹沿着第一方向由静电（2）和磁性（3）弯曲， 扇区和垂直于轨迹平面的方向（Z）。 确定在光谱仪的光轴上的两个透镜（Ly）和（Lz）的位置，以便获得在光谱仪下游整个轴上的色散的补偿，在出口处的入口狭缝的耻辱图像 在与出射平面不同的平面中，与入射狭缝不共轭的平面的入射狭缝的光谱仪的光谱仪下游的眩晕图像。 ... 应用：高透射ig质谱仪。 ... ...

    Lentille électromagnétique composite à focale variable
    24.
    发明公开
    Lentille électromagnétique composite à focale variable 失效
    多电磁透镜具有可变焦距。

    公开(公告)号：EP0389342A1

    公开(公告)日：1990-09-26

    申请号：EP90400714.3

    申请日：1990-03-16

    申请人： CAMECA

    发明人： Rouberol, Jean-Michel ,  Tong, Mathias

    IPC分类号： H01J37/141 ,  H01J3/22

    CPC分类号： H01J37/141

    摘要： La lentille est formée par l'association de deux len­tilles électromagnétiques partageant un même circuit magnétique (4). La première lentille est traversée par un canal central (10) et comporte l'une de ses extrémités un entrefer annulaire (8) qui coupe le canal central suivant une direction de plan perpendiculaire à l'axe optique (1).
    La deuxième lentille entoure l'entrefer annulaire 8 de la première lentille, elle comporte un entrefer annulaire (15) délimité par deux lèvres dont les parois sont de révolution autour de l'axe optique (1) et dont les bords (5b, 14) ont la forme de deux surfaces planes situées dans un même plan perpen­diculaire à l'axe optique (1). Des bobines d'induction (2 et 3) permettent de faire varier le flux magnétique des entrefers (8) et (15).
    Application : microscope électronique à balayage et de test, sonde électronique.

    Procédé et dispositif pour l'analyse ionique d'un échantillon isolant
    27.
    发明公开
    Procédé et dispositif pour l'analyse ionique d'un échantillon isolant 失效
    埃菲尔和Vorrichtungfürdie Ionenanalyse von nichtleitenden Proben。

    公开(公告)号：EP0114765A2

    公开(公告)日：1984-08-01

    申请号：EP84400078.6

    申请日：1984-01-13

    申请人： CAMECA

    发明人： Slodzian, Georges ,  Chaintreau, Marcel ,  Dennebouy, Roger

    IPC分类号： G01N23/225 ,  H01J37/02 ,  H01J37/252

    CPC分类号： H01J37/026 ,  G01N23/225

    摘要： @ Ce procédé d'analyse ionique d'un échantillon isolant (3), porté à un potentiel négatif déterminé, du type selon lequel on bombarde une cible sur la surface de l'échantillon à analyser par un faisceau d'ions primaires (2) et on utilise des ions négatifs émis par la cible bombardée pour produire une image ionique de l'échantillon, est caractérisé en ce qu'on dirige perpendiculairement à la cible un faisceau d'électrons (13-7) dont la composante normale de la vitesse s'annule juste au niveau de la surface de la cible. Le dispositif comporte à cet effet un filament (12) porté sensiblement au même potentiel négatif que l'échantillon émet le faisceau d'électrons (13). Le faisceau électronique (13) est, après émission, dévié par un prisme magnétique (15) pour être amené en coïncidence avec l'axe optique (7) du faisceau d'ions négatifs émis par la cible.

    摘要翻译： 1.一种连接到高负电位的绝缘试样（3）的离子分析方法，其中待分析试样的表面上的靶用一次离子束轰击，其特征在于负离子 由被轰击的靶发射的物体用于产生样品的离子图像，这些离子通过连接到零电位的提取电极（4）由高场提取，该方法使得电荷出现在 试样的表面通过由灯丝（12）发射的电极束（13）进行，在由靶发射的离子的提取区域外部产生，并加速等于邻近的提取场的场 的目标，然后在进入目标附近之前垂直定向到目标，在那里它被减速相同意义的相同的高场，速度vani的正常分量 正好在目标表面的水平上。