公开(公告)号：EP3252426B1

公开(公告)日：2023-11-01

申请号：EP16743487.7

申请日：2016-01-28

发明人： YOSHIYA, Takumi

IPC分类号： G01B7/00 ,  F02M65/00 ,  F02M57/00 ,  F02M51/06 ,  F15B13/04 ,  F15B15/28

公开(公告)号：EP3875913B1

公开(公告)日：2023-10-25

申请号：EP20160963.3

申请日：2020-03-04

发明人： CLOSE, Gael ,  LUGANI, Lorenzo

IPC分类号： G01D3/036 ,  G01D5/14 ,  G01D5/20 ,  G01D5/56 ,  G01D3/024

公开(公告)号：EP4047323B1

公开(公告)日：2023-07-26

申请号：EP21157650.9

申请日：2021-02-17

发明人： El-Shennawy, Mohammed ,  Jordan, Paul ,  Akermi, Yassine

IPC分类号： G01D5/20 ,  G01D18/00

公开(公告)号：EP3885711B1

公开(公告)日：2023-03-01

申请号：EP20165685.7

申请日：2020-03-25

发明人： LUGANI, Lorenzo

IPC分类号： G01D5/20

公开(公告)号：EP3686619B1

公开(公告)日：2022-12-07

申请号：EP19154065.7

申请日：2019-01-28

发明人： VAN DEN MEERSSCHAUT, Daan

IPC分类号： G01R33/00 ,  G01R33/07

公开(公告)号：EP3771575B1

公开(公告)日：2022-03-16

申请号：EP19189499.7

申请日：2019-07-31

发明人： CHABLOZ, Jérémie

IPC分类号： B60C23/06 ,  B60C19/00

公开(公告)号：EP3382344B1

公开(公告)日：2021-12-15

申请号：EP17163809.1

申请日：2017-03-30

发明人： BILBAO DE MENDIZABAL, Javier ,  SACCO, Vincenzo

IPC分类号： G01D3/08 ,  G01R31/28 ,  G01R33/00 ,  G01R33/07 ,  G01R35/00

公开(公告)号：EP3282265B1

公开(公告)日：2021-09-22

申请号：EP16183640.8

申请日：2016-08-10

发明人： HEINRICH, Klaus ,  LIEBING, Hartmut ,  ROTH, Andreas ,  EISENBRANDT, Stefan ,  OTT, Andreas ,  BOURY, Bruno

IPC分类号： H01L49/02 ,  H01L29/06 ,  H01L29/78 ,  H01L29/8605 ,  G01R17/16 ,  G01R19/00 ,  H01L29/40

公开(公告)号：EP3385678B1

公开(公告)日：2021-07-28

申请号：EP18163508.7

申请日：2018-03-23

发明人： VANDERSTEEGEN, Peter

IPC分类号： G01D5/14

公开(公告)号：EP3514502B1

公开(公告)日：2021-07-14

申请号：EP19152812.4

申请日：2019-01-21

发明人： KLUGE, Wolfram ,  LUGANI, Lorenzo

IPC分类号： G01D5/20