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公开(公告)号:EP3600628A1
公开(公告)日:2020-02-05
申请号:EP17714627.1
申请日:2017-03-20
发明人: ZHAO, Yonghong , BARBER, John H.
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公开(公告)号:EP3599469A1
公开(公告)日:2020-01-29
申请号:EP19187060.9
申请日:2019-07-18
发明人: JOET, Loïc
摘要: L'invention est un accéléromètre MEMS ou NEMS apte à mesurer une accélération selon un axe sensible comprenant :
- un substrat présentant un plan ;
- une masse suspendue par rapport au substrat, présentant une zone centrale ;
- un unique bras de levier comprenant :
• une première extrémité reliée au substrat par l'intermédiaire d'une première liaison apte à autoriser la rotation du bras de levier autour d'un axe de rotation perpendiculaire à l'axe sensible, et
• une seconde extrémité reliée à la masse par l'intermédiaire d'une seconde liaison apte à transmettre le mouvement de translation de la masse au bras de levier tout en autorisant la rotation dudit bras de levier autour de l'axe de rotation et étant disposée au niveau de la zone centrale de la masse ;
- au moins une jauge de contrainte comprenant :
• une première extrémité reliée au substrat, et
• une seconde extrémité reliée au bras de levier.-
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公开(公告)号:EP3559585A1
公开(公告)日:2019-10-30
申请号:EP16829171.4
申请日:2016-12-21
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公开(公告)号:EP2838645B1
公开(公告)日:2019-08-14
申请号:EP12874399.4
申请日:2012-04-18
发明人: WANG, Chang , WANG, Chen
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67.
公开(公告)号:EP2646133B1
公开(公告)日:2019-06-26
申请号:EP11791075.2
申请日:2011-10-20
发明人: BYALSKIY, Mikhail , LINK, Brian
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公开(公告)号:EP2563722B1
公开(公告)日:2019-06-12
申请号:EP11717423.5
申请日:2011-04-19
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公开(公告)号:EP3487815A1
公开(公告)日:2019-05-29
申请号:EP17751163.1
申请日:2017-07-19
发明人: MASON, David, M. , ERICKSON, Gary
IPC分类号: C02F1/52 , C02F1/24 , C02F1/28 , C02F101/32 , C02F103/36
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公开(公告)号:EP3474971A1
公开(公告)日:2019-05-01
申请号:EP17731338.4
申请日:2017-05-26
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