ACCELEROMETRE A DETECTION PAR JAUGE DE CONTRAINTES A PRECISION AMELIOREE

    公开(公告)号:EP3599469A1

    公开(公告)日:2020-01-29

    申请号:EP19187060.9

    申请日:2019-07-18

    发明人: JOET, Loïc

    IPC分类号: G01P15/12 B81B5/00 G01P15/08

    摘要: L'invention est un accéléromètre MEMS ou NEMS apte à mesurer une accélération selon un axe sensible comprenant :
    - un substrat présentant un plan ;
    - une masse suspendue par rapport au substrat, présentant une zone centrale ;
    - un unique bras de levier comprenant :
    • une première extrémité reliée au substrat par l'intermédiaire d'une première liaison apte à autoriser la rotation du bras de levier autour d'un axe de rotation perpendiculaire à l'axe sensible, et
    • une seconde extrémité reliée à la masse par l'intermédiaire d'une seconde liaison apte à transmettre le mouvement de translation de la masse au bras de levier tout en autorisant la rotation dudit bras de levier autour de l'axe de rotation et étant disposée au niveau de la zone centrale de la masse ;
    - au moins une jauge de contrainte comprenant :
    • une première extrémité reliée au substrat, et
    • une seconde extrémité reliée au bras de levier.