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    Hybrides Steifigkeitsmodul zur Schwingungsisolation
    81.
    发明公开
    Hybrides Steifigkeitsmodul zur Schwingungsisolation 有权

    公开(公告)号：EP1803963A1

    公开(公告)日：2007-07-04

    申请号：EP05028716.8

    申请日：2005-12-30

    申请人： Integrated Dynamics Engineering GmbH

    发明人： Heiland, Peter

    IPC分类号： F16F15/023 ,  F16F15/03 ,  G03F7/20

    CPC分类号： G03F7/709 ,  F16F15/0275 ,  F16F2230/34

    摘要： Schwingungsisolationssystem zur Entkopplung von Massen, z.B. Meßsystemen gegen störenden Schwingungen, insbesondere solche seismischer Art, umfassend ein kombiniertes horizontales und vertikales Luftlager. Das Luftlager umfasst Magnete (5,6) und/oder eine mechanische Feder (71), um die Tragfähigkeit des Lagers zu erhöhen. Weitere Magnete (53, 64) senken die horizontale Steifigkeit des Lagers.

    摘要翻译： 该系统具有基板（1）和导向壳体（2），其中气隙（10）设置在板和壳体之间。 活塞（3）被引导到壳体中，并且永磁体（5,6）在板和活塞之间操作以形成负载（4）的附加支撑。 磁体（5）通过穿过环形磁体（6）的开口的杆（51）与板连接。 支撑被替换或补充的负载板（7），其中设置有用于将负载板与活塞连接的上部旋转接头。

    Supporting device for supporting vibration sensitive components
    82.
    发明公开
    Supporting device for supporting vibration sensitive components 有权
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    公开(公告)号：EP1744215A1

    公开(公告)日：2007-01-17

    申请号：EP05015497.0

    申请日：2005-07-16

    申请人： Integrated Dynamics Engineering GmbH

    发明人： Heiland, Peter

    IPC分类号： G03F7/20 ,  F16F9/00

    CPC分类号： F16F15/04 ,  F16F15/0275 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/709

    摘要： The invention is in particular a supporting device for relative supporting loads with respect to a base comprising a load side part, a base side part, and an intermediate part giving support to the load side part, and thus defining a supporting direction with reference to the base and the load side, including a pressure chamber bounded by chamber walls.

    摘要翻译： 本发明特别地涉及一种用于相对于基座的相对承载载荷的支撑装置，该基座包括负载侧部分，基部侧部分和给予负载侧部分的支撑的中间部分，从而限定了支撑方向 底座和负载侧，包括由室壁限定的压力室。

    Method and apparatus of vibration isolation, in particular for electron beam metrology tools
    83.
    发明公开
    Method and apparatus of vibration isolation, in particular for electron beam metrology tools 审中-公开
    方法和防振装置，特别是对电子束计量仪器

    公开(公告)号：EP1519400A2

    公开(公告)日：2005-03-30

    申请号：EP04019373.2

    申请日：2004-08-16

    申请人： Integrated Dynamics Engineering GmbH

    发明人： Heiland, Peter

    IPC分类号： H01J37/02 ,  H01J37/20

    CPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/02 ,  H01J2237/0216

    摘要： A method and an apparatus for isolating mechanical vibrations reacting to beam metrology tools, in particular whereby which standard instruments with minor modification may be allowed as well as the reaction to constraints and special weakness of real life instruments, proposes to isolate mechanical vibrations, in particular based on acoustic noise, reacting to a metrology tool. Said metrology tool comprises an outer structure (2) for supporting a metrology instrument (1) and a chuck (4) for holding a specimen with respect to the metrology instrument in an intended defined position to perform measurements on the specimen by said metrology instrument, in that an offset of said position in response to mechanical vibrations is detected and an active modification of the position of the chuck is effectuated in response to said detection for counteracting a relative displacement between the specimen and the metrology instrument.

    摘要翻译： 一种分离的机械振动反应到光束计量工具方法和装置，特别是，由此，其与小的修改标准仪器可以被允许以及反应条件的限制和真实的生活文书特殊弱点，提议机械振动隔离，特别是 基于噪音，反应到计量工具。 所述外部结构（2）的计量工具包括用于支撑测量仪器（1），并且在预期的限定的位置中保持的检体相对于所述计量仪器由所述计量仪器样品执行测量的卡盘（4） DASS到中检测响应于机械振动和向卡盘的位置的活性修改响应于所述检测用于作用在试样和计量仪器之间的相对位移计数器effectuated的所述位置偏移。

    PNEUMATISCHER AKTOR SOWIE VERFAHREN ZUM BETRIEB EINES AKTIVEN SCHWINGUNGSISOLATIONSSYSTEM
    90.
    发明公开
    PNEUMATISCHER AKTOR SOWIE VERFAHREN ZUM BETRIEB EINES AKTIVEN SCHWINGUNGSISOLATIONSSYSTEM 审中-公开
    气动执行机构和用于运行主动振动隔离系统的方法

    公开(公告)号：EP3260732A1

    公开(公告)日：2017-12-27

    申请号：EP16175909.7

    申请日：2016-06-23

    申请人： Integrated Dynamics Engineering GmbH

    发明人： Evers, Arndt ,  Hofmann, Frank ,  Hartgers, Han ,  Scharf, Till

    IPC分类号： F16F15/027

    CPC分类号： F16F15/0275 ,  F16F1/122 ,  F16F1/128 ,  F16F3/02 ,  F16F15/046 ,  F16F15/063

    摘要： Die Erfindung betrifft einen pneumatischen Aktor (1), welcher insbesondere für ein stationäres Schwingungsisolationssystem (16) ausgebildet ist, welches der Aufnahme von Anlagen zur Prozessierung von Halbleiterbauelementen dient. Der pneumatische Aktor umfasst einen Arbeitsraum (3) mit einem Kolben (5), der den Arbeitsraum in eine erste und eine zweite Druckkammer (4a, 4b) aufteilt, wobei der Kolben durch einen Spalt (6) von der Innenwand (7) des Arbeitsraums beabstandet ist und wobei der Kolben nur in einer axialen Richtung verschiebbar ist.

    摘要翻译： 气动致动器（1）技术领域本发明涉及一种气动致动器（1），该气动致动器特别设计用于固定振动隔离系统（16），其用于容纳用于处理半导体部件的系统。 该气动致动器包括具有活塞（5）的工作空间（3），该活塞将工作空间分成第一和第二压力室（4a，4b），活塞从工作空间的内壁（7）穿过间隙 是间隔开的并且其中活塞仅可沿轴向移动。