Stage apparatus and its driving method, exposure apparatus and device manufacturing method
    83.
    发明公开
    Stage apparatus and its driving method, exposure apparatus and device manufacturing method 有权
    Trägervorrichtungund Antriebsverfahren,Belichtungsapparat und Herstellungsverfahren

    公开(公告)号:EP1398109A2

    公开(公告)日:2004-03-17

    申请号:EP03255040.2

    申请日:2003-08-13

    IPC分类号: B23Q1/62

    摘要: A stage apparatus including a center slider movable in XY directions and a substrate stage mounted on the center slider. The center slider and the substrate stage are connected by plural electromagnet units to generate a moving force in a predetermined direction to the substrate stage by application of electric current to exciting coils. A moving force to be applied to the substrate stage and its direction are determined in correspondence with movement of the slider, and an electric current is selectively applied to the exciting coils of said plural electromagnet units. Upon application of electric current to the respective exciting coils, the directions of the electric current applied to the respective exciting coils are selected so as to reduce a leak magnetic field around a wafer on the substrate stage.

    摘要翻译: 电磁单元(226a,226b)通过向励磁线圈施加电流而在预定方向上产生移动力。 选择性地对励磁线圈施加电流时,控制器确定施加到各激励线圈的电流的方向。 还包括以下独立权利要求:(1)舞台装置的控制方法; (2)曝光装置; (3)半导体器件制造方法; 和(4)在舞台装置中移动舞台的方法。

    EINRICHTUNG ZUR REGELUNG DER ARBEITS- VORSCHUBGESCHWINDIGKEIT DER ARBEITSEINHEIT EINER BEARBEITUNGSMASCHINE
    84.
    发明公开
    EINRICHTUNG ZUR REGELUNG DER ARBEITS- VORSCHUBGESCHWINDIGKEIT DER ARBEITSEINHEIT EINER BEARBEITUNGSMASCHINE 审中-公开
    一种用于控制一台机器的加工进给工作单位

    公开(公告)号:EP1161710A1

    公开(公告)日:2001-12-12

    申请号:EP00925121.6

    申请日:2000-03-17

    申请人: HYDEA s.r.l.

    IPC分类号: G05B19/43 G05B19/46 B23Q17/20

    摘要: The invention relates to a device for controlling the working feed speed of the work unit of a processing machine (1) which machines a workpiece (11) by material removal. The device comprises a double-acting hydraulic cylinder (17) serving as drive element for the work unit whose feed speed is controlled by a restriction of the hydraulic oil flow which in feed mode flows through a throttle passage (49) and out of a pressure chamber (36) of the hydraulic cylinder. Said throttle passage comprises an adjustment throttle (59) which on the input side is connected to the hydraulic cylinder, as well as a pressure balance (63) which is arranged between said adjustment throttle and the reservoir (42) of the pressure-supply unit (41) and functions as a control throttle. The pressure balance comprises a balance piston (63) which on one side, on a control surface (91) having a value Aw, is subjected to the input pressure pL of the adjustment throttle (59) and can thus be displaced against the restoring force of a balance spring (86) with a view to reducing the flow section of the control throttle. The invention also provides for a control device (94, 96, 98) which as soon and for as long as the total pressure drop along the throttle passage (41) is lower than a defined threshold value pLS mediates, monotonically to the change in said pressure difference, an equivalent decrease or increase in the restoring force acting on the balance piston (63).

    SUPERPOSITION CONTROL METHOD USING NUMERICAL CONTROLLER
    85.
    发明公开
    SUPERPOSITION CONTROL METHOD USING NUMERICAL CONTROLLER 失效
    ÜBERLAGERUNGSSTEUERVERFAHRENMIT NUMERISCHER STEUERUNG

    公开(公告)号:EP0851328A1

    公开(公告)日:1998-07-01

    申请号:EP97930744.4

    申请日:1997-07-10

    申请人: FANUC LTD

    发明人: NAKAZATO, Tomomi

    IPC分类号: G05B19/18

    摘要: A superimposing control method using a numerical control device, capable of starting and terminating a superimposing control even during movement, without the need of waiting for the adjustment of timing and without rapid acceleration or deceleration. In response to a superimposition command, a motion value distributed to a Z axis of a superimposing axis in a reference system is subjected to acceleration/deceleration processing by an acceleration/deceleration processing section separately provided for superimposition, and the obtained movement value is added to a motion command value for a Z axis of a superimposed axis in a superimposing system. When a superimposition termination command is issued, the motion command value remained in the acceleration/deceleration processing section for superimposition is superimposed on the motion command value for the Z axis of the superimposing system. The superimposition can be smoothly started and terminated without the need to stop the two control systems.

    摘要翻译: 一种使用数字控制装置的叠加控制方法,即使在移动期间也能够启动和终止重叠控制,而不需要等待时间的调整并且没有快速加速或减速。 响应于叠加命令,分配给参考系统中的重叠轴的Z轴的运动值通过分别设置用于叠加的加速/减速处理部进行加速/减速处理,并将获得的运动值加到 叠加系统中叠加轴的Z轴的运动指令值。 当发出叠加终止命令时,将叠加系统的Z轴的运动指令值叠加在用于叠加的加减速处理部中的运动指令值。 可以平滑地开始和终止叠加,而不需要停止两个控制系统。

    Steuereinrichtung für programmgesteuerte Werkzeugmaschinen
    87.
    发明公开
    Steuereinrichtung für programmgesteuerte Werkzeugmaschinen 失效
    程序控制机床控制装置

    公开(公告)号:EP0428945A3

    公开(公告)日:1993-08-25

    申请号:EP90121465.0

    申请日:1990-11-09

    申请人: DECKEL MAHO GmbH

    发明人: Babel, Werner

    IPC分类号: G05B19/409 B23Q15/013

    CPC分类号: B23Q11/00 B23Q5/36 B23Q15/013

    摘要: Gegenstand der Erfindung ist eine Steuereinrichtung für programmgesteuerte Werkzeugmaschinen mit Steuerkreisen für die einzelnen Vorschubmotoren (20) der beweglichen Maschi­nenteile (2), die mit der Programm-Steuereinheit (34) ver­knüpft sind und zusätzlich mindestens ein Schaltelement (14) zum manuellen Einschalten der Vorschubmotoren (20) enthalten. Um dem Bediener bei dem Handsteuer-Betrieb ein Gefühl für den jeweiligen Arbeitsvorgang zu vermitteln, weist erfindungsgemäß jeder Steuerkreis mindestens einen sensor (26, 42) zum Erfassen eines Leistungsparameters (1; M) des zugeordneten Vorschubmotors (20) auf. Ferner ist jedem als von Hand bewegbarem Stellglied (14) ausgebilde­ten Schaltelement eine von den Ausgangssignalen des Sen­sors (26; 42) angesteuerte Bremsvorrichtung (30 bzw. 44) zugeordnet, die proportional zu den erfaßten Leistungs­parametern betätigt wird und eine weitergehende Verdreh­bewegung des als Handkurbel ausgebildeten Stellglieds er­schwert.

    Steuereinrichtung für programmgesteuerte Werkzeugmaschinen
    89.
    发明公开
    Steuereinrichtung für programmgesteuerte Werkzeugmaschinen 失效
    Steuereinrichtungfürprogrammgesteuerte Werkzeugmaschinen。

    公开(公告)号:EP0428945A2

    公开(公告)日:1991-05-29

    申请号:EP90121465.0

    申请日:1990-11-09

    申请人: DECKEL MAHO GmbH

    发明人: Babel, Werner

    IPC分类号: G05B19/409 B23Q15/013

    CPC分类号: B23Q11/00 B23Q5/36 B23Q15/013

    摘要: Gegenstand der Erfindung ist eine Steuereinrichtung für programmgesteuerte Werkzeugmaschinen mit Steuerkreisen für die einzelnen Vorschubmotoren (20) der beweglichen Maschi­nenteile (2), die mit der Programm-Steuereinheit (34) ver­knüpft sind und zusätzlich mindestens ein Schaltelement (14) zum manuellen Einschalten der Vorschubmotoren (20) enthalten. Um dem Bediener bei dem Handsteuer-Betrieb ein Gefühl für den jeweiligen Arbeitsvorgang zu vermitteln, weist erfindungsgemäß jeder Steuerkreis mindestens einen sensor (26, 42) zum Erfassen eines Leistungsparameters (1; M) des zugeordneten Vorschubmotors (20) auf. Ferner ist jedem als von Hand bewegbarem Stellglied (14) ausgebilde­ten Schaltelement eine von den Ausgangssignalen des Sen­sors (26; 42) angesteuerte Bremsvorrichtung (30 bzw. 44) zugeordnet, die proportional zu den erfaßten Leistungs­parametern betätigt wird und eine weitergehende Verdreh­bewegung des als Handkurbel ausgebildeten Stellglieds er­schwert.

    摘要翻译: 本发明的主题是用于程序控制机床的控制装置,其具有用于移动机器部件(2)的单个进给电动机(20)的控制电路,其连接到程序控制单元(34)并且另外容纳 至少一个用于手动接通进给马达(20)的开关元件(14)。 为了使操作者在手动控制操作期间感觉到相应的工作过程,根据本发明,每个控制电路具有用于检测相关联的性能参数(1; M)的至少一个传感器(26,42) 进给电动机(20)。 此外,设计为可手动移动的控制构件(14)的每个开关元件被分配由传感器(26; 42)的输出信号驱动的制动装置(30或44),与检测到的性能成比例地被致动 参数并阻止被设计为曲柄手柄的控制构件的继续转动。 ... ...

    Von Hand steuerbare Drehmaschine
    90.
    发明公开
    Von Hand steuerbare Drehmaschine 失效
    冯手Steuerbare Drehmaschine。

    公开(公告)号:EP0418213A2

    公开(公告)日:1991-03-20

    申请号:EP90890252.1

    申请日:1990-08-31

    IPC分类号: B23Q5/28

    摘要: Um die bei Drehmaschinen mit einer Handsteuerung sonst er­forderlichen Getriebe, Schaltkupplungen, Bremsen, Wechsel­räder u. dgl. vermeiden zu können, ohne auf eine einfache Handsteuerung verzichten zu müssen, wird vorgeschlagen, daß die Vorschubantriebe für den Werkzeugschlitten (5) aus je einem regelbaren Drehstrommotor (11, 14) zum Antrieb der als Kugelgewindespindeln ausgebildeten, für den Schlittenantrieb vorgesehenen Spindeln (12, 15) bestehen, daß die Handräder (24, 25) zum Verfahren des Werkzeugschlittens (5) je einen elektrischen Drehgeber (26) verstellen, der mit einer Steu­ereinrichtung (17) für den zugehörigen Drehstrommotor (11; 14) verbunden ist, und daß die auf dem Werkzeugschlitten (5) vorgesehene Steuereinrichtung (17) eine Eingabe (18) für die Vorschubwerte und das vorwählbare Übersetzungsverhältnis zwi­schen der Handraddrehung und der Spindeldrehung sowie eine Anzeige (19) für die eingegebenen Werte und die Istwerte der jeweiligen Schlittenstellung aufweist.

    摘要翻译: 因此,无需省略简单的手动控制,可以在具有手动控制的车床中避免另外需要的变速箱,离合器,制动器,变速齿轮等,因此提出了用于工具滑动件 5)各自包括用于驱动设计为滚珠丝杠主轴并设置用于滑动驱动的主轴(12,15)的可控三相电动机(11,14),用于移动工具的手轮(24,25) 滑动件(5)各自调节连接到相关联的三相电动机(11; 14)的控制装置(14)的电动轴编码器(26),并且设置在工具滑块上的控制装置(17) (5)具有用于进给速度和手轮旋转和主轴旋转之间的预选传动比的输入(18)以及用于输入值和相应滑动位置的实际值的显示器(19)。