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1.发明公开SYSTEM AND METHOD FOR MANAGING POWER SUPPLIED TO A PLASMA CHAMBER 有权系统VERFAHREN ZUR VERWALTUNG DER EINE PLASMAKAMMER GELIEFERTEN ENERGIE
公开(公告)号：EP2062278A4
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：EP07814831
申请日：2007-09-13
发明人： PANKRATZ JOSH
CPC分类号： H05H1/46 , H01J37/32064 , H01J37/32935 , H01J2237/0206 , H05H2001/4682
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公开(公告)号：EP2013672A4
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：EP07761420
申请日：2007-04-27
发明人： SMIRNOV ALEXEI
IPC分类号： G05D7/00
CPC分类号： G05D7/0635 , G05B13/024 , Y10T137/0324 , Y10T137/7759
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公开(公告)号：EP2013373A4
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：EP07761416
申请日：2007-04-27
发明人： ILIC MILAN , HUFF ROBERT , MCDONOUGH GEORGE
CPC分类号： C23C14/34 , C23C14/54 , H01J37/32935 , H01J37/3299
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公开(公告)号：EP2062354A4
公开(公告)日：2009-11-04
申请号：EP07842153
申请日：2007-09-10
发明人： GILMORE JACK A
IPC分类号： H03H7/38
CPC分类号： H03H7/40
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公开(公告)号：EP2668830A4
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：EP12739805
申请日：2012-01-24
发明人： HOFFMAN DANIEL J , CARTER DANIEL , BROUK VICTOR , PETERSON KAREN , GRILLEY RANDY
CPC分类号： H01J37/32541 , H01J37/32091 , H01J37/32183 , H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01J37/32568 , H01J2237/327 , H05H1/46 , H05H2001/4675
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公开(公告)号：EP2258150A4
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：EP09724338
申请日：2009-03-12
发明人： VANZYL GIDEON J , ROBERG JEFF
CPC分类号： H01J37/32082 , H03H7/40 , H03H11/1291 , H05H1/46 , H05H2001/4682
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公开(公告)号：EP1782145A4
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：EP05790984
申请日：2005-08-23
CPC分类号： H02M3/1584 , H02M3/07 , H02M2003/075 , H02M2003/076 , H02M2003/1586
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公开(公告)号：EP1866947A4
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：EP06748443
申请日：2006-03-17
CPC分类号： H01J37/3299 , H01J37/32082 , H01J37/32174 , H01J37/32183 , H03H7/38 , H05H1/46
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公开(公告)号：EP1872295A4
公开(公告)日：2010-03-10
申请号：EP06758605
申请日：2006-04-21
发明人： VAN ZYL GIDEON J
CPC分类号： H01L21/67069 , H01J37/32082 , H01J37/32174 , H01J2237/0206
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公开(公告)号：EP1828429A4
公开(公告)日：2009-11-25
申请号：EP05854173
申请日：2005-12-15
发明人： SEYMOUR ERIC , SCHOLL RICHARD A
IPC分类号： C23C14/35
CPC分类号： C23C14/3478 , H01J37/34 , H01J37/3438 , H01J37/3444
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