公开(公告)号：EP1466998A1

公开(公告)日：2004-10-13

申请号：EP04007889.1

申请日：2004-04-01

申请人： Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH

发明人： Schuler, Heiko ,  Eberl, Karl ,  Huber, Frank

IPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/26 ,  C30B23/00

CPC分类号： C30B23/066 ,  C23C14/243 ,  C23C14/26 ,  C30B23/002 ,  C30B23/02 ,  C30B29/02

摘要： Die Temperaturankopplung des Tiegels (4) einer Effusionszelle an ein den Tiegel (4) umgebendes, als heizbares Kühlreservoir dienendes Aufnahmeteil (1) wird dadurch verbessert, indem in den Zwischenraum (2) zwischen dem Tiegel (4) und der Wand einer Ausnehmung (1A) des Aufnahmeteils (1) ein Übertragungsmedium mit hoher Wärmeleitfähigkeit und niedrigem Dampfdruck (bsp. Ga, In, Hg oder weicher Feststoff) eingebracht wird. Durch die verbesserte thermische Ankopplung des Tiegels (4) folgt die Temperatur des Tiegels (4) schneller der des heizbaren Kühlreservoirs, so dass Materialien mit hohem Dampfdruck mit relativ niedrigen Verdampfungstemperaturen kontrollierter abgeschieden werden können.

摘要翻译： 流出池包括用于待蒸发的物质（7）的坩埚（4）和形成为具有用于坩埚的凹部（1A）的可加热冷却储存器的接收器部分（1）。 在凹部和坩埚之间的中间室（2）部分地填充有作为传热介质的气体，液体或可塑性变形的固体。 对于使用渗出池的汽化方法也包括独立权利要求。