公开(公告)号：EP1151211B1

公开(公告)日：2006-03-29

申请号：EP00905822.3

申请日：2000-01-28

申请人： ACTIVE CONTROL EXPERTS INC.

发明人： Spangler, Ronald ,  Bianchini, Emanuele ,  Pletner, Baruch ,  Marsh, Betsy ,  Jacques, Robert

IPC分类号： F16F15/00 ,  G05D19/02

CPC分类号： G03F7/70725 ,  F16F15/005 ,  F16F15/02 ,  F16F15/0275 ,  F16F2230/08 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/709 ,  G05D19/02 ,  H04R17/08 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/53039 ,  Y10T29/53087 ,  Y10T29/53091 ,  Y10T29/5313 ,  Y10T29/53178 ,  Y10T29/53196

摘要： A vibration control system comprising an actuator, and a sensor useful for controlling vibrations in systems for fabricating electronics equipment. The actuator may comprise one or more plates or elements of electroactive material bonded to an electroded sheet.

摘要翻译： 一种振动控制系统，包括致动器和用于控制制造电子设备的系统中的振动的传感器。 致动器可以包括结合到电极片的一个或多个电极活性材料板或元件。

公开(公告)号：EP1151211A1

公开(公告)日：2001-11-07

申请号：EP00905822.3

申请日：2000-01-28

申请人： ACTIVE CONTROL EXPERTS INC.

发明人： Spangler, Ronald ,  Bianchini, Emanuele ,  Pletner, Baruch ,  Marsh, Betsy ,  Jacques, Robert

IPC分类号： F16F15/00 ,  G05D19/02

CPC分类号： G03F7/70725 ,  F16F15/005 ,  F16F15/02 ,  F16F15/0275 ,  F16F2230/08 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/709 ,  G05D19/02 ,  H04R17/08 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/53039 ,  Y10T29/53087 ,  Y10T29/53091 ,  Y10T29/5313 ,  Y10T29/53178 ,  Y10T29/53196

摘要： A vibration control system comprising an actuator, and a sensor useful for controlling vibrations in systems for fabricating electronics equipment. The actuator may comprise one or more plates or elements of electroactive material bonded to an electroded sheet.