公开(公告)号：EP2909677A1

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：EP13759242.4

申请日：2013-09-10

申请人： ASML Netherlands B.V.

发明人： KOK, Haico ,  VOOGD, Robbert Jan

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F9/00

CPC分类号： G03F7/70775 ,  G01B11/0675 ,  G01B11/14 ,  G03F7/70483 ,  G03F7/70525 ,  G03F9/7046 ,  G03F9/7049 ,  G03F9/7092

摘要： A sensor system to measure a physical quantity, the system including a parallel detection arrangement with multiple detectors to allow measurements in parallel at different spatial locations, wherein the multiple detectors share a noise source, wherein the sensor system is configured such that the multiple detectors each output a signal as a function of the physical quantity, and wherein the sensor system is configured such that at least one detector responds differently to noise originating from the shared noise source than the one or more other detectors.

摘要翻译： 一种用于测量物理量的传感器系统，所述系统包括具有多个检测器的并行检测装置，以允许在不同空间位置处并行测量，其中所述多个检测器共享噪声源，其中所述传感器系统被配置为使得所述多个检测器 输出作为物理量的函数的信号，并且其中所述传感器系统被配置为使得至少一个检测器响应于来自所述共享噪声源的噪声不同于所述一个或多个其它检测器