公开(公告)号：EP4200670A1

公开(公告)日：2023-06-28

申请号：EP21749855.9

申请日：2021-07-29

申请人： ASML Netherlands B.V.

发明人： BANINE, Vadim, Yevgenyevich ,  VERMEULEN, Paul, Alexander ,  DE MEIJERE, Cornelis, Adrianus ,  MOORS, Johannes, Hubertus, Josephina ,  NIKIPELOV, Andrey ,  SALMASO, Guido ,  VAN DE KERKHOF, Marcus, Adrianus ,  YAGHOOBI, Parham

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F1/62 ,  G03F1/64

公开(公告)号：EP3788442A1

公开(公告)日：2021-03-10

申请号：EP19716199.5

申请日：2019-04-12

申请人： ASML Netherlands B.V.

发明人： DE GRAAF, Dennis ,  BEAUDRY, Richard ,  BIRON, Maxime ,  JANSSEN, Paul ,  KATER, Thijs ,  KORNELSEN, Kevin ,  KUIJKEN, Michael, Alfred, Josephus ,  KUNTZEL, Jan, Hendrik, Willem ,  MARTEL, Stephane ,  NASALEVICH, Maxim, Aleksandrovich ,  SALMASO, Guido ,  VAN ZWOL, Pieter-Jan

IPC分类号： G03F1/62 ,  G03F7/20