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发明公开
MISMATCHED OPTICS FOR ANGULAR CONTROL OF EXTRACTED ION BEAM 审中-实审

公开(公告)号：EP4423787A1

公开(公告)日：2024-09-04

申请号：EP22887906.0

申请日：2022-09-27

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： LIKHANSKII, Alexandre , SCHEUER, Jay T. , MAHALINGAM, Sudhakar , CLAY, Nevin

IPC分类号： H01J27/02 , H01J37/08 , H01J37/317

CPC分类号： H01J37/08 , H01J37/3171 , H01J2237/08320130101 , H01J2237/06120130101 , H01J27/024