公开(公告)号：EP2671969A1

公开(公告)日：2013-12-11

申请号：EP12170693.1

申请日：2012-06-04

申请人： Atotech Deutschland GmbH

发明人： Brunner, Heiko, Dr. ,  Picalek, Jan, Dr. ,  Bejan, Iulia, Dr. ,  Krause, Carsten ,  Bera, Holger, Dr. ,  Rückbrod, Sven

IPC分类号： C23C18/34 ,  C23C18/50 ,  H01L21/288

CPC分类号： C23C18/34 ,  C23C18/1633 ,  C23C18/50 ,  H01L21/288 ,  H01L21/76849

摘要： The present invention relates to aqueous plating bath compositions for deposition of nickel and nickel alloys utilizing novel stabilising agents possessing a carbon-carbon triple bond and a functional group to enhance the bath performance.

摘要翻译： 本发明涉及利用具有碳 - 碳三键的新型稳定剂和用于提高浴性能的官能团来沉积镍和镍合金的镀液浴组合物。