公开(公告)号：EP3802414A1

公开(公告)日：2021-04-14

申请号：EP19811959.6

申请日：2019-05-29

申请人： BNNT, LLC

发明人： STEVENS, Jonathan, C. ,  HENNEBERG, Thomas, W. ,  JORDAN, Kevin, C. ,  SMITH, Michael, W. ,  WHITNEY, R., Roy

IPC分类号： C01B21/00 ,  C01B21/06 ,  C01B21/064 ,  C04B35/583 ,  H01L21/00

公开(公告)号：EP4094100A2

公开(公告)日：2022-11-30

申请号：EP21744386.0

申请日：2021-01-21

申请人： BNNT, LLC

发明人： WHITNEY, R., Roy ,  HENNEBERG, Thomas, W. ,  HUFF, Clay, F. ,  SCAMMELL, Lyndsey, R.

IPC分类号： G01T3/06 ,  G01T3/08 ,  G01T3/00 ,  B82Y15/00 ,  G01T5/08 ,  H01L31/18