专利检索 ap:("BOSCH GMBH ROBERT") AND inv:"KRONMUELLER SILVIA" 第 1 页

1.

发明公开
ANCHORS FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS HAVING AN SOI SUBSTRATE, AND METHOD OF FABRICATING SAME 有权
标题翻译：主播与用于制造SOI衬底的工艺和微机电系统

公开(公告)号：EP1652219A4

公开(公告)日：2010-12-08

申请号：EP04801839

申请日：2004-03-31

申请人： BOSCH GMBH ROBERT

发明人： LUTZ MARKUS , PARTRIDGE AARON , KRONMUELLER SILVIA

IPC分类号： H01L21/00 , B81B3/00 , G01P15/00 , H01L20060101 , H01L27/01 , H01L29/82 , H01L29/84

CPC分类号： B81B3/0054 , B81B2203/0307 , B81C1/00126

2.

发明公开
MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, AND METHODS FOR ENCAPSULATING AND FABRICATING SAME 审中-公开
标题翻译：微机电系统和方法使这次和封装

公开(公告)号：EP1634328A4

公开(公告)日：2011-07-06

申请号：EP04785661

申请日：2004-03-30

申请人： BOSCH GMBH ROBERT

发明人： PARTRIDGE AARON , LUTZ MARKUS , KRONMUELLER SILVIA

IPC分类号： B81C1/00 , H01L20060101 , H01L21/44 , H01L23/28 , H01L23/48 , H01L23/52 , H01L27/14 , H01L29/40 , H01L29/82 , H01L29/84

CPC分类号： B81C1/00261 , B81B2207/015 , B81C1/00333 , B81C2201/0176 , B81C2203/0136 , H01L2924/0002 , H01L2924/00

3.

发明公开
MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS HAVING TRENCH ISOLATED CONTACTS, AND METHODS FOR FABRICATING SAME 审中-公开
标题翻译：根据上述制造坟墓隔离触点和工艺微机电系统

公开(公告)号：EP1633673A4

公开(公告)日：2011-07-06

申请号：EP04785662

申请日：2004-03-30

申请人： BOSCH GMBH ROBERT

发明人： PARTRIDGE AARON , LUTZ MARKUS , KRONMUELLER SILVIA

IPC分类号： H01L21/00 , B81B7/00 , B81C1/00

CPC分类号： B81C1/00301 , B81B2207/015 , B81B2207/095 , B81C2201/0176 , B81C2203/0136