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发明公开
MODULAR SPUTTERING APPARATUS 失效
标题翻译：模块化喷雾装置

公开(公告)号：EP0422099A4

公开(公告)日：1991-07-17

申请号：EP89907915

申请日：1989-06-20

申请人： BROWN UNIVERSITY

发明人： LAURO, MICHAEL, P. , BEAULIEU, ROLAND , CHRISSMAN, EVERETT, E. , LOFERSKI, JOSEPH, J. , CASE, CHRISTOPHER

IPC分类号： C23C14/56 , H01J37/18 , H01L21/00

CPC分类号： H01L21/6723 , C23C14/568 , H01J37/185