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发明公开
SUBSTRATE TRANSPORT APPARATUS WITH INDEPENDENT ACCESSORY FEEDTHROUGH 审中-公开

公开(公告)号：EP3691836A1

公开(公告)日：2020-08-12

申请号：EP18864263.1

申请日：2018-10-05

申请人： Brooks Automation, Inc.

发明人： PLAISTED, Sean, E. , SHARROCK, Leigh, F , AITKEN, Chris

IPC分类号： B25J9/00 , B25J9/04 , B25J9/08 , B25J9/10 , B25J11/00 , G05B19/04 , H01L21/677