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1.发明公开Dispositif permettant d'ajuster la température d'un élément par soufflage d'un gaz à la température appropriée 失效装置，用于通过在所需温度下供应气体的装置调整部件的温度。
公开(公告)号：EP0346166A1
公开(公告)日：1989-12-13
申请号：EP89401281.4
申请日：1989-05-09
申请人： CARRIER S.A.
CPC分类号： G01R31/2862 , F27B17/02 , G01R31/2874 , H01L21/67109 , H01L23/467 , H01L2224/16
摘要： Dispositif de réglage thermique pour ajuster à une valeur souhaitée la temperature d'un élément (7) par soufflage sur celui-ci d'un gaz à la temperature souhaitée, comportant : un corps (1) renfermant un conduit (2) d'amenée du gaz ; une cloche d'isolement (6) montée à coulissement sur l'extrémité (3) du conduit pour entourer l'élément (7) ; un soufflet (15) entre la cloche (6) et le corps (1) ; un tube (19) enfermé dans le corps (1) pour évacuer le gaz hors de la cloche ; la cloche et le soufflet étant en un matériau thermiquement isolant.
摘要翻译： 通过在所需温度下吹入气体在其上调节的元件（7）到所希望的值的温度，包括热控制装置：主体（1）含有一个气体入口管道（2）; 绝缘钟罩（6）可滑动地安装在端部，以包围所述元件（7）在管道（3）; ;钟罩（6）和所述主体（1）之间的鼓风机（15） 身体内包围的管（19）（1），用于从所述钟罩排出气体; 钟罩和鼓风机被由热绝缘材料制成。 ...
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2.发明公开Dispositif de support et de régulation thermique d'une pièce et appareillage de test de plaques de circuits semi-conducteurs incluant un tel dispositif 失效装置用于保持和热调节磁道和用于与半导体电路的测试电路板的设备的完整装置。
公开(公告)号：EP0341156A1
公开(公告)日：1989-11-08
申请号：EP89401255.8
申请日：1989-05-03
申请人： CARRIER S.A.
CPC分类号： H01L21/67103 , G01R1/04 , H01L21/6838
摘要： Dispositif (1) pour, par simple contact, supporter et maintenir en position une pièce et porter celle-ci à une température souhaitée négative ou positive, le maintien de la pièce s'effectuant par effet de dépression, comprenant : un plateau (2) thermiquement conducteur avec une face supérieure (7) possédant au moins une gorge (8) en communication avec un conduit (9, 10) de raccordement avec une source de gaz en dépression, des enceintes parallèles (15) prévues dans le plateau (2) et traversées par des flux de fluide de réglage thermique à la susdite température souhaitée positive ou négative ; et une chambre périphérique (16) entourant le plateau (2) et contenant un gaz sec sous pression distribué par des moyens de sortie (18) répartis périphériquement et orientés vers le centre du plateau de manière que le gaz sec soit dirigé au-dessus de la surface du plateau et sur la pièce supportée par celui-ci afin d'empêcher la formation de condensation et de givre pour des températures basses.
摘要翻译： 设备（1），通过简单地接触，支承和保持在位置上的片，并使后者一个期望的负或正的温度，所述片被通过压力降低效果保持，其包括：导热板（2）与 到上表面（7）possesing至少一个槽（8），在减压下与气体源连接的管道（9,10）连通，在所述板（2）提供，并通过热穿过平行罩（15） -adjusting在上述所需的正或负的温度的流体流; 和外周室（16）包围所述板（2）和含有由输出装置（18）分布在所述外围扩展的干燥的加压气体和指向板的中心，从而没了干燥气体的表面上方引导 板和在由板支撑，以防止凝结和冰的在低温下形成的片。
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