专利检索 ap:("CHINESE ACAD PHYSICS INST" OR "GERMANTECH CO LTD") AND inv:"LIU HOUFANG" 第 1 页

1.

发明公开
NANO GRAPHICS AND ULTRA-WIDEBAND ELECTROMAGNETIC CHARACTERISTIC MEASUREMENT SYSTEM 有权
标题翻译： NANO和图形的超宽带电磁特性测量系统

公开(公告)号：EP2738607A4

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：EP12818389

申请日：2012-07-17

申请人： CHINESE ACAD PHYSICS INST , GERMANTECH CO LTD

发明人： HAN XIUFENG , MA QINLI , YU GUOQIANG , LIU HOUFANG , YU TIAN , ZHOU XIANGQIAN , AI JINHU , SUN XIAOYU

IPC分类号： G03F7/20 , G01R31/00 , G01R31/315 , H01J37/26 , H01J37/317 , H01L21/66

CPC分类号： H01J37/26 , G01R31/2822 , G01R31/315 , H01J37/3174 , H01J2237/24564 , H01J2237/28 , H01L22/12