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发明公开
COMPOSITION AND METHOD FOR METAL CMP 审中-公开

公开(公告)号：EP3891236A1

公开(公告)日：2021-10-13

申请号：EP19893774.0

申请日：2019-11-13

申请人： CMC Materials, Inc.

发明人： KRAFT, Steven , HUNG LOW, Fernando , CLINGERMAN, Daniel , IVANOV, Roman A. , GRUMBINE, Steven

IPC分类号： C09G1/02 , C09K3/14 , B24B37/005 , B24B37/04 , B24B57/02