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发明公开
TEXTURED CMP PAD COMPRISING POLYMER PARTICLES 审中-实审

公开(公告)号：EP4395958A1

公开(公告)日：2024-07-10

申请号：EP22865607.0

申请日：2022-09-02

申请人： CMC Materials LLC

发明人： MA, Rui , LI, Kaiting , LINDSAY, Jessica , KIM, Sangcheol , RAI, Satish

IPC分类号： B24B37/24 , B24B37/26 , B24D3/28

CPC分类号： B24B37/24 , C09D175/04 , C08G18/7614 , C08G18/4854 , C08G18/10 , C08G18/3237