公开(公告)号：EP2793399B1

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：EP14164290.0

申请日：2014-04-10

Applicant: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES

Inventor： Villard, Patrick ,  Billiot, Gérard

IPC: H03L7/02 ,  G01G3/16

CPC classification number: H03L7/093 ,  B82Y35/00 ,  G01G3/16 ,  G01N29/036 ,  G01N29/22 ,  H03B5/30 ,  H03L7/02

公开(公告)号：EP2793399A1

公开(公告)日：2014-10-22

申请号：EP14164290.0

申请日：2014-04-10

Applicant: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES

Inventor： Villard, Patrick ,  Billiot, Gérard

IPC: H03L7/02 ,  G01G3/16

CPC classification number: H03L7/093 ,  B82Y35/00 ,  G01G3/16 ,  G01N29/036 ,  G01N29/22 ,  H03B5/30 ,  H03L7/02

Abstract: L'invention concerne les oscillateurs à nanorésonateurs ou oscillateurs NEMS (de l'anglais "nanoelectromechanical systems", c'est-à-dire systèmes nano-électromécaniques).
On prévoit un circuit de mesure de la fréquence d'oscillation d'un résonateur (NMS), comportant une boucle d'asservissement de phase avec un oscillateur à fréquence contrôlée (VCO) et un comparateur de phase (CMPH). Le résonateur comporte une entrée d'excitation de la vibration et une entrée de polarisation dynamique (de jauges de contrainte). L'oscillateur à fréquence contrôlée applique une fréquence de polarisation f1 à l'entrée de polarisation. Un générateur de fréquence (GEN) fournit une fréquence intermédiaire fixe FI ; un mélangeur (MLG) reçoit les fréquences f1 et FI pour produire une fréquence d'excitation f0 somme ou différence de f1 et FI. Le comparateur de phase reçoit la fréquence FI et le signal de sortie du résonateur et produit un signal de commande à destination de l'oscillateur à fréquence contrôlée, asservissant indirectement la fréquence d'oscillation sur la fréquence de résonance du résonateur.