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1.发明公开
公开(公告)号：EP0232436A1
公开(公告)日：1987-08-19
申请号：EP85402240.7
申请日：1985-11-19
发明人： Huet, Daniel , Lambert, Marc
摘要： Le craquage de l'arsine ou de la phosphine utilisée pour former un jet moléculaire d'arsenic ou de phosphore est réalisée sur les surfaces intérieures d'un conduit de craquage (11) constitué de quartz ou de nitrure de bore et chauffé de l'extérieur par le rayonnement d'un filament 30. Des cloisons intérieures percées (6a, 6b, 6c et 6d) augmentent la surface de craquage et empêchent une molécule de traverser le conduit en ligne droite.
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2.发明授权
公开(公告)号：EP0232436B1
公开(公告)日：1990-01-24
申请号：EP85402240.7
申请日：1985-11-19
发明人： Huet, Daniel , Lambert, Marc
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