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发明公开
INERTIAL SENSOR AND METHOD OF INERTIAL SENSING WITH TUNEABLE MODE COUPLING STRENGTH 审中-公开

公开(公告)号：EP3853617A1

公开(公告)日：2021-07-28

申请号：EP19772816.5

申请日：2019-09-16

申请人： Cambridge Enterprise, Ltd.

发明人： ZHOU, Xin , ZHAO, Chun , SESHIA, Ashwin A.

IPC分类号： G01P1/00 , G01C19/5726 , G01C19/5755