公开(公告)号：EP3861565A1

公开(公告)日：2021-08-11

申请号：EP19782549.0

申请日：2019-09-30

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： ZEIDLER, Dirk ,  RIEDESEL, Christof ,  THOMA, Arne ,  METALIDIS, Georgo ,  JACOBI, Jörg ,  SCHUBERT, Stefan ,  LENKE, Ralf ,  BIHR, Ulrich ,  SAROV, Yanko ,  KURIJ, Georg

IPC分类号： H01J37/317

公开(公告)号：EP4004962A1

公开(公告)日：2022-06-01

申请号：EP20740177.9

申请日：2020-05-23

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： SCHUBERT, Stefan ,  ZEIDLER, Dirk ,  METALIDIS, Georgo ,  FRITZ, Hans ,  LENKE, Ralf

IPC分类号： H01J37/09 ,  H01J37/12 ,  H01J37/28 ,  H01J37/26