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1.

发明授权
Particle-optical system 有权
标题翻译：粒子系统

公开(公告)号：EP1753010B1

公开(公告)日：2012-12-05

申请号：EP05017318.6

申请日：2005-08-09

申请人： Carl Zeiss SMS GmbH

发明人： Platzgummer, Elmar, Dr. Dipl.-Ing. , Stengl, Gerhard, Dr. Dipl.-Ing. , Falkner, Helmut

IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/12 , B82Y10/00

CPC分类号： H01J37/12 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/3177