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1.发明授权REFLEKTIVES ROENTGENMIKROSKOP ZUR UNTERSUCHUNG VON OBJEKTEN MIT WELLENLAENGEN = 100NM IN REFLEXION 有权反光ROENTGENMIKROSKOP的对象与Wellenlaengen = 100NM反射调查
公开(公告)号：EP1446813B1
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：EP03740130.4
申请日：2003-05-08
发明人： MANN, Hans-Jürgen , DINGER, Udo , ULRICH, Wilhelm , REINECKE, Wolfgang , ENGEL, Thomas , ZIBOLD, Axel , HARNISCH, Wolfgang , WEDOWSKI, Marco , PAUSCHINGER, Dieter
摘要： The invention relates to a reflective X-ray microscope for examining an object on an object plane wherein the object is illuminated with radiation at a wavelength of
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2.发明公开REFLEKTIVES ROENTGENMIKROSKOP UND INSPEKTIONSSYSTEM ZUR UNTERSUCHUNG VON OBJEKTEN MIT WELLENLAENGEN 100NM 有权反光ROENTGENMIKROSKOP的对象与Wellenlaengen = 100NM反射调查
公开(公告)号：EP1446813A2
公开(公告)日：2004-08-18
申请号：EP03740130.4
申请日：2003-05-08
发明人： MANN, Hans-Jürgen , DINGER, Udo , ULRICH, Wilhelm , REINECKE, Wolfgang , ENGEL, Thomas , ZIBOLD, Axel , HARNISCH, Wolfgang , WEDOWSKI, Marco , PAUSCHINGER, Dieter
摘要： The invention relates to a reflective X-ray microscope for examining an object on an object plane wherein the object is illuminated with radiation at a wavelength of
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