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    IONIZATION DEVICE AND MASS SPECTROMETER THEREWITH
    2.
    发明公开
    IONIZATION DEVICE AND MASS SPECTROMETER THEREWITH 审中-公开
    电离装置及其质谱仪

    公开(公告)号：EP3234978A1

    公开(公告)日：2017-10-25

    申请号：EP15804140.0

    申请日：2015-12-03

    申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

    发明人： ALIMAN, Michel ,  CHUNG, Hin Yiu Anthony ,  FEDOSENKO, Gennady ,  REUTER, Rüdiger ,  LAUE, Alexander ,  KEUDELL, Achim von ,  BÖKE, Marc ,  BENTER, Thorsten ,  WINTER, Jörg ,  AWAKOWICZ, Peter ,  GORKHOVER, Leonid

    IPC分类号： H01J27/08 ,  H01J49/12 ,  H01J49/14

    CPC分类号： H01J49/145 ,  H01J27/08 ,  H01J37/08 ,  H01J49/12

    摘要： An ionization device includes: a plasma generating device for generating metastable particles and/or ions of an ionization gas in a primary plasma region; a field generating device for generating a glow discharge in a secondary plasma region; an inlet for supplying a gas to be ionized into the secondary plasma region; and a further inlet for supplying the metastable particles and/or the ions of the ionization gas into the secondary plasma region. A mass spectrometer includes such an ionization device and a detector downstream of the outlet of the ionization device for the mass-spectrometric analysis of the ionized gas.

    摘要翻译： 本发明涉及一种电离装置（1），包括：用于在主等离子体区域（9）中产生电离气体（6）的亚稳颗粒（6a）和/或离子（6b）的等离子体产生装置（4） 用于在次级等离子体区域（10）中产生辉光放电（12）的场发生装置（13），用于将待电离的气体（3）供应到次级等离子体区域（10）中的入口（2） 用于将亚稳颗粒（6a）和/或电离气体（6）的离子（6b）供应到第二等离子体区域（10）中的进一步入口（5）。 本发明还涉及一种质谱仪（20），其包括设置在电离装置（1）的出口（16）下游的这种电离装置（1）和检测器（17），用于质谱分析 电离气体（3a，3a'）。