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发明授权
METHOD FOR PRODUCING FACET MIRRORS AND PROJECTION EXPOSURE APPARATUS 有权
标题翻译：生产工艺琢面反射镜和投影曝光装置

公开(公告)号：EP2122393B1

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：EP08707756.6

申请日：2008-02-18

申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

发明人： WARM, Berndt , RENNON, Sigfried , DINGER, Udo , BAIER, Jürgen , BURKART, Stefan , KOUROUKLIS, Christos , CHUNG, Hin Yiu Anthony , WIESNER, Stefan , ENKISCH, Hartmut , DENGEL, Günther

IPC分类号： G02B5/09 , G03F7/20 , G02B7/18

CPC分类号： G02B5/08 , B29D11/00596 , G02B5/09 , G03F7/702 , G03F7/70825