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发明授权
WELLENFRONTKORREKTURELEMENT ZUR VERWENDUNG IN EINEM OPTISCHEN SYSTEM 有权

公开(公告)号：EP3286595B1

公开(公告)日：2019-06-26

申请号：EP16712251.4

申请日：2016-03-10

申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

发明人： BANYAY, Matus , WEISER, Martin , BITTNER, Boris

IPC分类号： G02B27/00 , G03F7/20 , G02B5/08 , G02F1/015 , G02B17/08