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发明授权
SYSTEM FOR MEASURING THE IMAGE QUALITY OF AN OPTICAL IMAGING SYSTEM 有权
标题翻译：测量系统的光学成像系统的图像质量

公开(公告)号：EP1774405B1

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：EP05754724.2

申请日：2005-06-02

申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

发明人： MENGEL, Markus , WEGMANN, Ulrich , EHRMANN, Albrecht , EMER, Wolfgang , CLEMENT, Reiner , MATHIJSSEN, Ludo

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G01M11/0257 , G01M11/0214 , G01M11/0271 , G03F7/70341 , G03F7/70591 , G03F7/70716 , G03F7/70958 , Y10T428/31