公开(公告)号：EP2003526A1

公开(公告)日：2008-12-17

申请号：EP07011573.8

申请日：2007-06-13

申请人： Carl Zeiss SMT Limited

发明人： Cooper, Patrick

IPC分类号： G05B19/404 ,  H01J37/00

CPC分类号： G05B19/4086 ,  G05B2219/33078 ,  G05B2219/37619 ,  G05B2219/41036 ,  G05B2219/41055 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20292

摘要： The invention refers to a method and a device for controlling and monitoring a position of a holding element which is provided to hold a sample to be examined, in particular by a beam device such as an electron microscope. It is an object of the invention to provide a method and a device for controlling and monitoring a position of a holding element taking any errors with respect to irregularities into account. The invention is based on the idea of interpolation of possible errors.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于控制和监测保持元件的位置的方法和装置，其被设置成保持要检查的样品，特别是通过诸如电子显微镜的束装置。 本发明的目的是提供一种用于控制和监视保持元件的位置的方法和装置，其考虑到不规则性的任何错误。 本发明基于对可能的误差进行插值的思想。