公开(公告)号：EP2620751A1

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：EP13152386.2

申请日：2013-01-23

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： COLINET, Eric ,  ARCAMONE, Julien ,  ARNDT, Grégory

IPC分类号： G01D3/036 ,  G01L9/00

CPC分类号： G01H13/00 ,  G01D3/0365

摘要： Dispositif de mesure (100) d'au moins une variable physique, comportant au moins :
- un premier et un deuxième capteurs résonants (102a, 102b), l'un des deux capteurs résonants (102b) étant sensible à une variation de la variable physique à mesurer et l'autre des deux capteurs résonants (102a) n'étant pas sensible à une variation de la variable physique à mesurer,
- des moyens (104) aptes à imposer au premier et au deuxième capteurs résonants une même fréquence de résonance,
- des moyens (108) de mesure d'un déphasage entre des signaux de sortie du premier et du deuxième capteurs résonants.

摘要翻译： 装置（100）具有周期性信号发生器（104），其包括具有连接到谐振传感器（102a）的输出的非反相输入的差分放大器，连接到另一谐振传感器（102b）的输出的反相输入端， 连接到前一个传感器的输入端的反相输出端和连接到后一个传感器输入端的非反相输出端。 发生器包括两个放大器，其输入端连接到传感器的输出端。 相位比较器（108）测量输出到两个放大器的输出端的信号之间的相移。 传感器是纳米机电系统（NEMS）或微机电系统（MEMS）型传感器。 还包括用于测量物理变量的变化的方法的独立权利要求。