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1.PROCÉDÉ D'OBTENTION D 'UNE STRUCTURE COMPRENANT UN SUBSTRAT SUPPORT ET UNE COUCHE ULTRAMINCE 有权
标题翻译: PROCÉDÉD'OBTENTION D'UNE STRUCTURE COMPRENANT UN SUBSTRAT SUPPORT ET UNE COUCHE ULTRAMINCE公开(公告)号:EP1631984B1
公开(公告)日:2017-08-23
申请号:EP04767238.1
申请日:2004-06-03
IPC分类号: H01L21/762 , H01L21/20
CPC分类号: H01L21/76254 , H01L21/76259
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公开(公告)号:EP1805507B1
公开(公告)日:2018-03-21
申请号:EP05815948.4
申请日:2005-10-24
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