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公开(公告)号：EP4198587A1
公开(公告)日：2023-06-21
申请号：EP22210320.2
申请日：2022-11-29
摘要： Ce procédé comporte la fabrication d'un premier guide d'onde en nitrure de silicium stoechiométrique, d'un second guide d'onde en matériau semi-conducteur cristallin et d'au moins un composant actif optiquement couplé au premier guide d'onde par l'intermédiaire du second guide d'onde. Ce procédé comporte :
a) la formation (128) d'une ouverture qui traverse une couche d'encapsulation du premier guide d'onde et débouche dans ou sur un substrat en silicium monocristallin, puis
b) le dépôt (132) par croissance épitaxiale d'un matériau de germination cristalline à l'intérieur de l'ouverture jusqu'à ce que ce matériau de germination cristalline forme un germe cristallin sur une face supérieure de la couche d'encapsulation, puis
c) une épitaxie latérale (136), d'un matériau semi-conducteur cristallin à partir du germe cristallin formé pour former une couche en matériau semi-conducteur cristallin dans laquelle le second guide d'onde est ensuite réalisé.-
2.发明公开
公开(公告)号：EP4449173A1
公开(公告)日：2024-10-23
申请号：EP22835343.9
申请日：2022-12-09
发明人： GUERBER, Sylvain , FOWLER, Daivid , VIROT, Leopold
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公开(公告)号：EP3462145A1
公开(公告)日：2019-04-03
申请号：EP18197123.5
申请日：2018-09-27
IPC分类号： G01G17/04
摘要： L'invention est un résonateur électromécanique, comportant une partie fixe (10), un oscillateur (20, 60), l'oscillateur étant apte à osciller selon une fréquence de résonance ( f ), l'oscillateur comportant:
▪ un canal fluidique (25), définissant un circuit fluidique, ménagé dans l'oscillateur (20,60), et destiné à accueillir un fluide (4), le canal fluidique étant apte à être déformé selon la fréquence de résonance, sous l'effet de l'oscillation de l'oscillateur ;
le résonateur étant caractérisé en ce qu'il comprend également :
▪ un guide d'onde (26), définissant un circuit photonique, ménagé dans l'oscillateur (20,60), et destiné à guider une onde lumineuse (7) entre une entrée (26 in ) et une sortie (26 out ) du guide d'onde, le guide d'onde (26) étant apte à être déformé selon la fréquence de résonance ( f ), sous l'effet de l'oscillation de l'oscillateur ;
▪ l'entrée du guide d'onde (26 in ) étant apte à être connectée à une source de lumière (6), la sortie du guide d'onde étant apte à être connectée à un photodétecteur (8), de façon que le photodétecteur soit apte à former un signal ( S ) représentatif de l'onde lumineuse propagée par le guide d'onde vers le photodétecteur, cette dernière étant modulée selon une fréquence de modulation (w) dépendant de la fréquence de résonance ( f ); de telle sorte que lorsque sous l'effet d'une variation ( δm) d'une masse ( m ) du fluide (4), induisant une variation ( δf ) de la fréquence de résonance, la variation de masse ( δm ) peut être détectée par le signal formé par le photodétecteur.
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