公开(公告)号：EP4350425A1

公开(公告)日：2024-04-10

申请号：EP23201539.6

申请日：2023-10-04

申请人： Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

发明人： FURCATTE, Thomas ,  SANSA PERNA, Marc ,  HENTZ, Sébastien ,  KAZAR MENDES, Munique

IPC分类号： G02F1/01 ,  B82Y20/00 ,  G02B26/08 ,  B81B3/00

摘要： Un aspect de l'invention concerne une structure opto-mécanique (SOM) comportant un substrat (SB) s'étendant selon un plan (P) ; un élément support (ES) agencé sur le substrat (SB ; au moins un élément conducteur (EC) adapté pour créer un champ électrique orienté perpendiculairement au plan (P) du substrat (SB) ; et un résonateur opto-mécanique. De plus, le résonateur opto-mécanique comprend un élément mobile mécaniquement (EM) réalisé dans un matériau piézoélectrique et agencé sur l'élément support (ES), le matériau piézoélectrique étant choisi de sorte que le champ électrique créé par l'élément conducteur (EC) lorsque ce dernier est soumis à un potentiel électrique entraîne un déplacement dudit élément mobile (EM) ; un résonateur optique (RO) couplé à l'élément mobile (EM). Enfin, l'élément conducteur (EC) est situé au-dessus ou au-dessous dudit élément mobile (EM), à une distance non nulle dudit élément mobile (EM), ledit élément conducteur (EC) et ledit élément mobile (EM) ayant une surface en regard l'une de l'autre.