公开(公告)号：EP3244169B1

公开(公告)日：2019-02-20

申请号：EP17167899.8

申请日：2017-04-25

申请人： Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

发明人： LEONCINO, Luca ,  HENTZ, Sébastien ,  JOURDAN, Guillaume ,  SANSA PERNA, Marc

IPC分类号： G01D5/26 ,  G01L9/00 ,  G01D5/34 ,  G01N29/036

公开(公告)号：EP3244169A1

公开(公告)日：2017-11-15

申请号：EP17167899.8

申请日：2017-04-25

申请人： Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

发明人： LEONCINO, Luca ,  HENTZ, Sébastien ,  JOURDAN, Guillaume ,  SANSA PERNA, Marc

IPC分类号： G01D5/26 ,  G01L9/00 ,  G01D5/34 ,  G01N29/036

CPC分类号： G01D5/353 ,  G01D5/26 ,  G01D5/34 ,  G01L1/103 ,  G01L9/0023 ,  G01M11/3172 ,  G01N29/036 ,  G01N29/2418 ,  G01N2291/015 ,  G01N2291/0256 ,  G01N2291/0427 ,  G01P15/093 ,  G01P15/097

摘要： Système de mesure résonant de type MEMS et/ou NEMS, comportant :
Un dispositif optomécanique (4) comprenant au moins un élément résonant (14) à au moins une fréquence de résonance fr, un guide d'onde (10) couplé à un anneau optique (12) dont l'indice optique est sensible au déplacement de l'élément résonant (14),
Des moyens d'excitation (6) de l'élément résonant (14) à au moins sa fréquence de résonance fr,
Des moyens (2) aptes à injecter un faisceau lumineux à une fréquence f1 = fr + Δf dans le dispositif optomécanique, comportant une diode laser et des moyens de modulation disposés entre la diode laser (18) et le guide d'onde (10) à la fréquence f1.
Un dispositif de photodétection (8) apte à mesurer l'intensité d'un faisceau lumineux de mesure sortant du guide d'onde (10), l'intensité du faisceau de mesure ayant au moins une composante à une fréquence 2Δf.

摘要翻译： 谐振测量系统MEMS和/或NEMS，包括：耦合到一个环上的光 - 机械装置（4）包括至少一个谐振元件（14）连接到至少一个谐振频率fr，波导（10） 光学系数（12），其光学指数对谐振元件（14）的位移敏感;用于将谐振元件（14）激励（6）至少其谐振频率fr的装置; 2），其能够以频率f1 = fr +Δf将光束注入到光机械装置中，该光机械装置包括激光二极管和以该频率布置在激光二极管（18）和波导（10）之间的调制装置 F1。 一种能够测量从波导（10）出射的测量光束的强度的光电检测装置（8），该测量光束的强度具有至少一个频率为2Δf的分量。