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发明授权
Heater sealed with carbon wire heating element 有权
标题翻译：用于密封的加热器的碳线发热体

公开(公告)号：EP1158569B1

公开(公告)日：2014-10-08

申请号：EP01112064.9

申请日：2001-05-25

申请人： Covalent Materials Corporation

发明人： Seko, Sunao , Konn, Tomio , Nagata, Tomohiro , Saito, Norihiko , Yokoyama, Hideyuki , Kobayashi, Masakazu , Saito, Takanori , Nakao, Ken

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： H01L21/67103 , H01L2924/0002 , H05B3/145 , H01L2924/00