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公开(公告)号：EP1727922A1
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：EP05725436.9
申请日：2005-03-11
发明人： LONG, Michael , GRACE, Jeremy, Matthew , KOPPE, Bruce, Edward , FREEMAN, Dennis, Ray , REDDEN, Neil, Peter , ZWAAP, Robert, Ferdinand
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/26
摘要： A vapor deposition source for use in vacuum chamber for coating an organic layer on a substrate of an OLED device, includes a manifold(60) including side and bo ttom walls defining a chamber for receiving organic material, and an aperture pl ate(40) disposed between the side walls, the aperture plate having a plurality of spaced apart apertures(90) for emitting vaporized organic material; the apertu re plate including conductive material which in response to an electrical current produces heat; means for heating the organic material to a temperature which c auses its vaporization, and heating the side walls of the manifold; and an elect rical insulator(120) coupling the aperture plate to the side walls for concentra ting heat in the unsupported region of the aperture plate adjacent to the apertu res, whereby the distance between the aperture plate and the substrate can be re duced to provide high coatA vapor deposition source for use in vacuum chamber for coating an organic layer on a substrate of an OLED device, includes a manifoldincluding side and bottom walls defining a chamber for receiving organic materi al, and an aperture plate disposed between the side walls, the aperture plate ving a plurality of spaced apart apertures for emitting vaporized organic materi al; the aperture plate including conductive material which in response to an ele ctrical current produces heat; means for heating the organic material to a tempe rature which causes its vaporization, and heating the side walls of the manifold and an electrical insulator coupling the aperture plate to the side walls for concentrating heat in the unsupported region of the aperture plate adjacent to t he apertures, whereby the distance between the aperture plate and the substrate can be reduced to provide high coating thickness uniformity on the substrate.
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公开(公告)号：EP0245460A1
公开(公告)日：1987-11-19
申请号：EP86907122.0
申请日：1986-11-07
CPC分类号： B29C43/34 , B29C31/044 , B29C35/0888 , B29C2035/0827 , B29D17/005 , B29L2017/005
摘要： Un procédé de fabrication d'un support d'enregistrement et de lecture optique en forme de disque comprend l'application d'une couche mince et uniforme d'une composition fluide entre des diamètres intérieur et extérieur prédéterminés (34 et 36) d'un substrat de disque (30) sensiblement plat. Un cordon circulaire (33) de la composition est injecté dans un espace créé entre une surface du substrat de disque (30) et une surface opposée (28) d'un moule matrice (26). Le rayon d'application du cordon (33) est tel que la superficie du substrat de disque (30) comprise entre le diamètre intérieur prédéterminé (34) et le rayon est approximativement égale à la superficie du substrat de disque (30) comprise entre le rayon et le diamètre extérieur prédéterminé (36). L'espace entre le substrat (30) et le moule (26) est fermé, de sorte que le cordon de la composition s'étend radialement vers l'intérieur et l'extérieur du rayon au moins jusqu'aux diamètres intérieur et extérieur prédéterminés (34 et 36), tout en permettant à l'air de s'échapper devant la composition en extension. La composition est distribuée à travers un ajutage long et étroit (32) de manière à humidifier la surface (28) du moule matrice (26) et la surface opposée du substrat (30), en formant une colonne (33) de fluide entre les deux. Une fois que la colonne (33) est formée, l'ajutage (32) est retiré et le moule matrice (26) et le substrat (30) sont pressés ensemble pour former une pellicule uniforme et sans défauts. Après exposition de la pellicule à un rayonnement durcisseur, le moule matrice (26) et le substrat (30) sont séparés. La composition durcie adhère au substrat (30), en créant une copie de la matrice (26).
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公开(公告)号：EP0245461A1
公开(公告)日：1987-11-19
申请号：EP86907123.0
申请日：1986-11-07
CPC分类号： B29C33/0038 , B29C43/34 , B29D17/005
摘要： Un procédé de fabrication d'un support d'enregistrement et de lecture optique en forme de disque comprend l'application sur un substrat de disque (30) sensiblement plat d'une couche mince et uniforme d'une composition fluide, entre des anneaux intérieur et extérieur de délimitation (34 et 36) qui repoussent la composition. Un cordon circulaire (33) de cette composition est injecté dans un espace créé entre la surface du substrat de disque (30) et une surface opposée (28) d'un moule matrice (26). Le rayon d'application du cordon (33) est tel que la superficie du substrat de disque (30) comprise entre l'anneau intérieur (34) et la rayon est approximativement égale à la superficie du substrat de disque (30) comprise entre le rayon et l'anneau extérieur (36). L'espace entre le substrat (30) et le moule (26) est ensuite fermé de sorte que le cordon de la composition s'étende radialement vers l'intérieur et l'extérieur du rayon, dans la direction des anneaux intérieur et extérieur (34) et 36). Les anneaux retardent et uniformisent ainsi des fronts nonuniformes d'extension de la composition. Les deux anneaux (34 et 36) peuvent être imprimés au cadre en matériaux à base de silicones sur la surface opposée (28) du moule (26).
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