公开(公告)号：EP1695655A4

公开(公告)日：2010-11-10

申请号：EP04807213

申请日：2004-12-10

申请人： JAPAN SCIENCE & TECH AGENCY ,  ESASHI MASAYOSHI ,  HAGA YOICHI

发明人： ESASHI MASAYOSHI ,  HAGA YOICHI ,  MIZUSHIMA MASANORI ,  MATSUNAGA TADAO

IPC分类号： A61B1/00 ,  A61B1/005 ,  A61B17/00 ,  A61M25/00 ,  A61M25/01 ,  G02B23/24

CPC分类号： A61B1/0058 ,  A61B1/0051 ,  G02B23/2476

公开(公告)号：EP0997721A4

公开(公告)日：2002-11-05

申请号：EP98954712

申请日：1998-11-17

申请人： ESASHI MASAYOSHI

发明人： ESASHI MASAYOSHI ,  HAGA YOICHI ,  KATSUMATA TAKASHI

IPC分类号： G01L9/00

CPC分类号： G01L9/0077

摘要： A pressure sensor is manufactured by forming a reflection movable diaphragm unit (2) on a silicon substrate (3) having a groove (26), forming an adhesive layer also serving as a spacer (24) around the unit, bonding the spacer (24) to a half mirror layer (11) of an optical fiber (1), and providing a diaphragm section (25) semicircular in cross section to the diaphragm unit (2).

摘要翻译： 反射型可动光阑单元2形成在承载硅基板3的槽26上，并且在光阑单元周围设置也用作间隔物24的接合剂层，该隔离物24被接合到半透明层11 进一步设置在隔膜单元2上的具有横截面半圆形隔膜部分25的光纤1，由此形成压力传感器。