公开(公告)号：EP1033533B1

公开(公告)日：2004-11-17

申请号：EP98954735.1

申请日：1998-11-19

申请人： EBARA CORPORATION

发明人： TAKEMURA, Yoshiro ,  KAWAMURA, Kohtaro ,  SHIRAO, Yuji ,  NAKAMURA, Rikiya

IPC分类号： F23G7/06

CPC分类号： F23D14/26 ,  F23C2900/9901 ,  F23D14/20 ,  F23D2209/20 ,  F23G7/065 ,  F23G2209/142

公开(公告)号：EP2601413B1

公开(公告)日：2019-01-16

申请号：EP11814598.6

申请日：2011-07-25

申请人： Ebara Corporation

发明人： SHINOHARA, Toyoji ,  KAWAMURA, Kohtaro ,  NAKAZAWA, Toshiharu

IPC分类号： F04B37/14 ,  F04B49/06 ,  B01D53/00 ,  B01D53/78

公开(公告)号：EP2601413A1

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：EP11814598.6

申请日：2011-07-25

申请人： Ebara Corporation

发明人： SHINOHARA, Toyoji ,  KAWAMURA, Kohtaro ,  NAKAZAWA, Toshiharu

IPC分类号： F04B37/16 ,  B01D53/46 ,  F04B49/10 ,  H01L21/205

CPC分类号： F24F7/00 ,  B01D53/005 ,  B01D53/78 ,  B01D2258/0216 ,  F04B37/14 ,  F04B49/06 ,  F04B2201/1201

摘要： An exhaust system (2) is used for evacuating a chamber of a manufacturing apparatus (1) for manufacturing semiconductor devices, liquid crystal panels, LEDs, or solar cells. The exhaust system (2) includes a vacuum pump apparatus (3) for evacuating the chamber, an exhaust gas treatment apparatus (5) for treating an exhaust gas discharged from the chamber, and a controller (6) for controlling the vacuum pump apparatus (3) and/or the exhaust gas treatment apparatus (5). Information of operation process of the manufacturing apparatus (1), and the kind of gas and the flow rate of the gas supplied to the manufacturing apparatus (1) is inputted into the controller (6) to control the vacuum pump apparatus (3) and/or the exhaust gas treatment apparatus (5).

摘要翻译： 排气系统（2）用于对用于制造半导体器件，液晶面板，LED或太阳能电池的制造设备（1）的腔室进行抽真空。 排气系统（2）包括用于抽空室的真空泵装置（3），用于处理从室排出的排气的废气处理装置（5），以及用于控制真空泵装置的控制器（6） 3）和/或废气处理装置（5）。 制造设备（1）的操作过程信息，以及供应给制造设备（1）的气体的种类和气体的流量被输入到控制器（6）中以控制真空泵设备（3）和 /或废气处理装置（5）。

公开(公告)号：EP1033533A1

公开(公告)日：2000-09-06

申请号：EP98954735.1

申请日：1998-11-19

申请人： EBARA CORPORATION

发明人： TAKEMURA, Yoshiro ,  KAWAMURA, Kohtaro ,  SHIRAO, Yuji ,  NAKAMURA, Rikiya

IPC分类号： F23G7/06

CPC分类号： F23D14/26 ,  F23C2900/9901 ,  F23D14/20 ,  F23D2209/20 ,  F23G7/065 ,  F23G2209/142

摘要： A combustor for waste gas treatment having a flame stabilizing zone 15 surrounded by a peripheral wall 13 and closed with a bottom wall 14. The flame stabilizing zone 15 is provided to face a combustion chamber 11. Burner ports 23 for auxiliary combustible gas are provided in the peripheral wall 13 to inject an auxiliary combustible gas B into the flame stabilizing zone 15 so as to produce swirling flows. Burner ports 22 for waste gas are provided in the bottom wall 14 to inject an waste gas A into the flame stabilizing zone 15.

公开(公告)号：EP1312860A1

公开(公告)日：2003-05-21

申请号：EP01956985.4

申请日：2001-08-21

申请人： EBARA CORPORATION

发明人： TSUJI, Takeshi ,  KAWAMURA, Kohtaro ,  NAKANIWA, Masaru ,  OKUDA, Kazutaka ,  ISHIKAWA, Keiichi ,  MIYAZAKI, Kazutomo ,  NAKAMURA, Rikiya ,  KOMAI, Tetsuo ,  OHASHI, Tomonori ,  TAKEMURA, Yoshiro

IPC分类号： F23G7/06 ,  F23N5/08

CPC分类号： F23G7/065 ,  F23C2900/9901 ,  F23D14/74 ,  F23D14/82 ,  F23M11/042 ,  F23N5/082 ,  F23N2029/00

摘要： A combustion type waste gas treatment method wherein waste gas discharged from an industrial product manufacturing process is introduced into combustion flames to thermally or oxidatively decompose a combustible component in the waste gas. Hydrogen gas and oxygen gas are generated by electrolysis of water and supplied as a gas for combustion to form the combustion flames. A pipe or a hole through which' the combustion flames can be viewed directly is formed in a wall of the burner part upstream of the combustion flames. The combustion flames are detected with a UV sensor through the pipe or the hole.

摘要翻译： 一种燃烧式废气处理方法，其中从工业产品制造过程中排出的废气被引入燃烧火焰中以对废气中的可燃组分进行热或氧化分解。 通过电解水产生氢气和氧气，并作为燃烧气体供给以形成燃烧火焰。 在燃烧火焰上游的燃烧器部分的壁上形成有可以直接观察燃烧火焰的管道或孔。 用UV传感器通过管道或孔检测燃烧火焰。