公开(公告)号：EP3080332B1

公开(公告)日：2020-10-21

申请号：EP14827487.1

申请日：2014-12-09

申请人： Electricité de France ,  Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S.)

发明人： HILDEBRANDT, Thibaud ,  NAGHAVI, Negar ,  LOONES, Nicolas ,  SCHNEIDER, Nathanaelle

IPC分类号： C23C18/12 ,  H01L31/18

公开(公告)号：EP3080334A1

公开(公告)日：2016-10-19

申请号：EP15706911.3

申请日：2015-02-12

申请人： Electricité de France ,  Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

发明人： HILDEBRANDT, Thibaud ,  NAGHAVI, Negar ,  LOONES, Nicolas ,  SCHNEIDER, Nathanaelle

IPC分类号： C23C18/12 ,  H01L31/18

CPC分类号： C23C2/04 ,  C23C18/1204 ,  C23C18/1216 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/0326 ,  Y02E10/541

摘要： The invention relates to a chemical bath for depositing a layer made from at least metal and sulphur. It also relates to a method for depositing such a layer. This bath comprises, in solution: - a metal salt comprising a metal chosen from at least one of the elements from groups IIB and IIIA of the periodic table; and - a sulphur precursor. The bath further comprises a morpholine compound.

摘要翻译： 本发明涉及用于沉积由至少金属和硫制成的层的化学浴。 它还涉及用于沉积这种层的方法。 该溶液在溶液中包含： - 金属盐，其包含选自元素周期表第IIB和IIIA族元素中的至少一种元素的金属; 和 - 硫前体。 该浴还包含吗啉化合物。

公开(公告)号：EP3080332A1

公开(公告)日：2016-10-19

申请号：EP14827487.1

申请日：2014-12-09

申请人： Electricité de France ,  Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

发明人： HILDEBRANDT, Thibaud ,  NAGHAVI, Negar ,  LOONES, Nicolas ,  SCHNEIDER, Nathanaelle

IPC分类号： C23C18/12 ,  H01L31/18

摘要： The invention relates to a chemical bath for depositing a layer made from at least metal and sulphur. It also relates to a method for depositing such a layer. The bath comprises, in solution: - a metal salt comprising a metal chosen from at least one of the elements from groups IIB and IIIA of the periodic table; and - a sulphur precursor. The bath further comprises a persulfate compound.

摘要翻译： 本发明涉及用于沉积由至少金属和硫制成的层的化学浴。 它还涉及用于沉积这种层的方法。 所述浴在溶液中包含： - 包含选自元素周期表第IIB和IIIA族元素中的至少一种元素的金属的金属盐; 和 - 硫前体。 该浴还包含过硫酸盐化合物。