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1.发明公开BAIN À MORPHOLINE ET PROCÉDÉ POUR LE DÉPÔT CHIMIQUE D'UNE COUCHE 审中-公开BAINÀMORPHOLINE ETPROCÉDÉPOUR LEDÉPÔTCHIMIQUE D'UNE COUCHE
公开(公告)号：EP3080334A1
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：EP15706911.3
申请日：2015-02-12
CPC分类号： C23C2/04 , C23C18/1204 , C23C18/1216 , H01L31/0322 , H01L31/0326 , Y02E10/541
摘要： The invention relates to a chemical bath for depositing a layer made from at least metal and sulphur. It also relates to a method for depositing such a layer. This bath comprises, in solution: - a metal salt comprising a metal chosen from at least one of the elements from groups IIB and IIIA of the periodic table; and - a sulphur precursor. The bath further comprises a morpholine compound.
摘要翻译： 本发明涉及用于沉积由至少金属和硫制成的层的化学浴。 它还涉及用于沉积这种层的方法。 该溶液在溶液中包含： - 金属盐，其包含选自元素周期表第IIB和IIIA族元素中的至少一种元素的金属; 和 - 硫前体。 该浴还包含吗啉化合物。
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2.发明公开BAIN À PERSULFATE ET PROCÉDÉ POUR LE DÉPÔT CHIMIQUE D'UNE COUCHE 审中-公开BAIN-PERSULFATE ETPROCÉDÉPOUR LEDÉPÔTCHIMIQUE D'UNE COUCHE
公开(公告)号：EP3080332A1
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：EP14827487.1
申请日：2014-12-09
摘要： The invention relates to a chemical bath for depositing a layer made from at least metal and sulphur. It also relates to a method for depositing such a layer. The bath comprises, in solution: - a metal salt comprising a metal chosen from at least one of the elements from groups IIB and IIIA of the periodic table; and - a sulphur precursor. The bath further comprises a persulfate compound.
摘要翻译： 本发明涉及用于沉积由至少金属和硫制成的层的化学浴。 它还涉及用于沉积这种层的方法。 所述浴在溶液中包含： - 包含选自元素周期表第IIB和IIIA族元素中的至少一种元素的金属的金属盐; 和 - 硫前体。 该浴还包含过硫酸盐化合物。
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公开(公告)号：EP3080332B1
公开(公告)日：2020-10-21
申请号：EP14827487.1
申请日：2014-12-09
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