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    Feuchtigkeitsfühler und Verfahren zu seiner Herstellung
    1.
    发明公开
    Feuchtigkeitsfühler und Verfahren zu seiner Herstellung 失效
    其生产湿度传感器和方法。

    公开(公告)号：EP0082934A2

    公开(公告)日：1983-07-06

    申请号：EP82109687.2

    申请日：1982-10-20

    申请人： Endress u. Hauser GmbH u.Co.

    发明人： Lüder, Ernst, Prof. Dr. ,  Kallfass, Traugott, Dr. ,  Borgwardt, Christian

    IPC分类号： G01N27/04 ,  G01N27/12 ,  G01N27/22

    CPC分类号： G01N27/225 ,  G01N27/121

    摘要： Ein Feuchtigkeitsfühler hat eine feuchtigkeitsempfindliche Schicht aus dem Oxid von hochohmigem porösem Tantal geringer Dichte ("low density"-Tantal) auf einem feuchtigkeitsunempfindlichen Substrat. Zwischen dem Substrat und der feuchtigkeitsempfindlichen Tantaloxidschicht befindet sich eine Grundelektrode aus einem anodisch oxidierbaren Metall, vorzugsweise Tantal, dessen Dichte größer als die Dichte des "low density"-Tantals ist, aus dem die Tantaloxidschicht gebildet ist. Eine die Tantaloxidschicht teilweise bedeckende Deckelektrode weist Ausschnitte auf, durch die das wasserdampfhaltige Medium in die feuchtigkeitsempfindliche Tantaloxidschicht eindringen kann. Die unter den Ausschnitten liegenden inaktiven Bereiche der Tantaloxidschicht sind zur Erhöhung der Ansprechgeschwindigkeit entfernt.

    摘要翻译： 湿度传感器具有高电阻的低密度多孔钽（“低密度”钽）的氧化物的水分不敏感基板上的湿度敏感层。 位于所述基板和所述湿度敏感的钽氧化物层，阳极氧化的金属，优选钽，其密度比从形成有钽氧化物层中的“低密度” -Tantals的密度大的基极之间。 氧化钽层部分地覆盖所述盖电极具有切口，通过该含水蒸气介质可以渗入水分keitsempfindliche氧化钽。 被去除的钽氧化物层的下层切口非作用区以提高响应速度。