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发明公开
SILICON PRECURSORS 审中-实审

公开(公告)号：EP4392428A1

公开(公告)日：2024-07-03

申请号：EP22861860.9

申请日：2022-07-08

申请人： Entegris, Inc.

发明人： LEE, SangJin , RYU, MinSeok , HAN, Sangbum , KIM, SeongCheol , KIM, YoonHae , PARK, KieJin , YEON, YeRim , CHO, Sungsil , KIM, HwanSoo , CHOI, JoongKi

IPC分类号： C07F7/10 , C23C16/34 , C23C16/40 , C23C16/30 , C23C16/36 , C23C16/32

CPC分类号： C07F7/10 , C23C16/45553