公开(公告)号：EP4392428A1

公开(公告)日：2024-07-03

申请号：EP22861860.9

申请日：2022-07-08

申请人： Entegris, Inc.

发明人： LEE, SangJin ,  RYU, MinSeok ,  HAN, Sangbum ,  KIM, SeongCheol ,  KIM, YoonHae ,  PARK, KieJin ,  YEON, YeRim ,  CHO, Sungsil ,  KIM, HwanSoo ,  CHOI, JoongKi

IPC分类号： C07F7/10 ,  C23C16/34 ,  C23C16/40 ,  C23C16/30 ,  C23C16/36 ,  C23C16/32

CPC分类号： C07F7/10 ,  C23C16/45553

公开(公告)号：EP4448832A1

公开(公告)日：2024-10-23

申请号：EP22908439.7

申请日：2022-12-15

申请人： Entegris, Inc.

发明人： RYU, MinSeok ,  LEE, SangJin ,  KIM, SeongCheol ,  YEON, YeRim ,  KIM, YoonHae ,  PARK, KieJin

IPC分类号： C23C16/24 ,  C23C16/455 ,  C07F7/10